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马智超: 作品数：11 被引量：7H指数：1; 供职机构：华中科技大学更多>>; 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金长江学者和创新团队发展计划更多>>; 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信理学更多>>

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基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测被引量：1: 2014年; 本文制备了硅基和光刻胶两种材料的纳米光栅,利用光谱椭偏仪对该纳米结构的光栅进行了测量,随后利用建立的拟合模型对其测量数据进行了拟合,结果证明了运用该仪器进行纳米光栅结构无损检测的可行性,在入射角60?,方位角75?的测量条件下,纳米结构关键尺寸、侧壁角等三维形貌参数的测量精度最大可达99.97%,该技术对于无损检测有着一定的推动意义.; 马智超徐智谋彭静孙堂友陈修国赵文宁刘思思武兴会邹超刘世元; 关键词：纳米压印光栅无损检测

一种多孔纳米压印模板及其制备方法: 本发明公开了一种孔洞纳米压印模板的制备方法，包括：制备表面镀有铝膜的衬底；对衬底进行阳极氧化和扩孔，氧化时间为阳极氧化开始到衬底表面开始变色所需时长；对样片进行ICP刻蚀，再去除掩膜材料后即得纳米压印模板；ICP刻蚀分为...; 孙堂友徐智谋张铮赵文宁武兴会刘思思马智超张学明王双保; 文献传递

纳米结构PZT的制备及光学性能: 纳米结构往往具有特殊的光、电、热、磁、信息储存与传输、能量储存与释放等功能。由于锆钛酸铅（简称PZT）具有高机械耦合系数、热释电性能好和较高的居里温度等优点，使得它成为迄今为止研究和使用最多的铁电压电材料之一，其优异的性...; 马智超; 关键词：锆钛酸铅第一性原理

基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量被引量：6: 2014年; 在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵椭偏仪可以改变波长、入射角和方位角3个测量条件,而且在每一组测量条件下都可以获得一个4×4阶Mueller矩阵共16个参数,因此可以获得更为丰富的测量信息.通过选择合适的测量条件配置,充分利用Mueller矩阵中的测量信息,有望实现更为准确的纳米结构测量.基于此,本文利用自主研制的Mueller矩阵椭偏仪对硅基光栅模板和纳米压印光刻胶光栅结构进行了测量.实验结果表明,通过对Mueller矩阵椭偏仪进行测量条件优化配置,并且在光学特性建模时考虑测量过程中出现的退偏效应,可以实现压印工艺中纳米结构线宽、线高、侧壁角以及残胶厚度等几何参数更为准确的测量,同时对于纳米压印光刻胶光栅结构还可以直接得到光斑照射区域内残胶厚度的不均匀性参数.; 陈修国刘世元张传维吴懿平马智超孙堂友徐智谋; 关键词：纳米压印

UWB无线超宽带系统MAC协议研究及仿真实现: 超宽带UWB（Ultra Wideband）技术不采用载波，而采用纳秒至皮秒级的非正弦波窄脉冲传输数据，这些脉冲占用的带宽可以高达数GHz，最大数据传输速率可以达到数百Mbit/s。在高速通信的同时，UWB设备的发射功率...; 马智超; 关键词：MAC层协议

一种纳米压印模板及其制备方法和应用: 本发明公开了一种纳米压印模板的制备方法，用于制作具有表面高增透性能的微结构，以用于光学器件，该方法包括：制备衬底并在衬底表面镀膜的步骤；对镀膜的衬底进行阳极氧化并进行扩孔处理以形成多孔氧化铝表面的步骤；和对经氧化扩孔处理...; 孙堂友徐智谋张铮赵文宁武兴会刘思思马智超张学明王双保

金属光栅的结构在太赫兹频段的性能研究: 以硅基加铁电体钛酸锶薄膜层为衬底,研究了金属光栅的结构变化在太赫兹频段的性能。计算仿真结果表明,当光栅的宽度从25μm变化到55μm时,该器件的中心反射频率发生了很明显的红移,并且反射率均超过80%。; 马智超徐智谋; 关键词：光栅太赫兹钛酸锶; 文献传递

钛酸锶钡纳米管的制备及其红外吸收性能研究: 2015年; 首次采用溶胶凝胶法结合通孔阳极氧化铝模板,成功制备出了钛酸锶钡纳米管.该制备工艺简单、易实现而且成本低.首先制备通孔阳极氧化铝模板和钛酸锶钡溶胶,然后通过浸渍加上匀胶的方法将钛酸锶钡溶胶引入到通孔阳极氧化铝模板的纳米孔洞中,最后在650C下煅烧1 h形成钛酸锶钡纳米管.X射线衍射(XRD)证明,制得的钛酸锶钡纳米管为立方钙钛矿相,主要沿(110)晶向生长.扫描电子显微镜(SEM)显示,钛酸锶钡纳米管外径、内径和管长分别为75 nm,50 nm,16μm.傅里叶变换显微红外光谱仪(FTIR)测试结果表明在波数为1350—1650 cm 1红外波段,阳极氧化铝/钛酸锶钡纳米管复合结构较钛酸锶钡薄膜有两处明显的吸收峰,吸收峰位于1470和1550 cm 1处,与通孔阳极氧化铝模板相比其吸收峰强度高出一倍,最后分析了出现这一现象的可能原因.; 邹超徐智谋马智超武兴会彭静; 关键词：溶胶凝胶红外吸收

一种纳米压印模板及其制备方法和应用: 本发明公开了一种纳米压印模板的制备方法，用于制作具有表面高增透性能的微结构，以用于光学器件，该方法包括：制备衬底并在衬底表面镀膜的步骤；对镀膜的衬底进行阳极氧化并进行扩孔处理以形成多孔氧化铝表面的步骤；和对经氧化扩孔处理...; 孙堂友徐智谋张铮赵文宁武兴会刘思思马智超张学明王双保; 文献传递

硅基纳米线的太赫兹发射研究: 采用水热法制备硅基纳米线，以TDS测试仪分析其在太赫兹频段内的发射增益性质，发现随着纳米线长度增加，其太赫兹发射强度逐渐增强。此性质对硅纳米光电器件在太赫兹领域和远红外领域的应用有着极其重要的意义。; 马智超徐智谋邹超; 关键词：太赫兹硅纳米线频谱