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高小虎

作品数:2 被引量:1H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇映射
  • 1篇映射系统
  • 1篇原理及实现
  • 1篇晶片
  • 1篇晶圆
  • 1篇机械手
  • 1篇激光

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇高小虎
  • 1篇侯为萍
  • 1篇宫晨
  • 1篇李斌

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
激光冷分离工艺技术基础研究被引量:1
2022年
从SiC晶棒切割工艺需求与技术特点出发,对比分析了激光冷分离技术的应用优势,详细介绍了激光冷分离技术研制过程中的关键技术和难点技术,最后对该技术未来发展趋势进行了展望。
李斌高小虎邢旻
关键词:激光晶圆
晶片映射系统原理及实现算法研究
2011年
介绍了晶片映射系统及其原理。该系统修正了机械手采用传统方式自动取片时执行效率低、料片状态无纠错功能的弊端,并详细论述了该系统的实现细节及算法。
宫晨高小虎侯为萍
关键词:机械手晶片映射
共1页<1>
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