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高小虎
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李斌
中国电子科技集团公司第四十五研...
宫晨
中国电子科技集团公司第四十五研...
侯为萍
中国电子科技集团公司第四十五研...
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中国电子科技...
作者
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高小虎
1篇
侯为萍
1篇
宫晨
1篇
李斌
传媒
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电子工业专用...
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1篇
2022
1篇
2011
共
2
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激光冷分离工艺技术基础研究
被引量:1
2022年
从SiC晶棒切割工艺需求与技术特点出发,对比分析了激光冷分离技术的应用优势,详细介绍了激光冷分离技术研制过程中的关键技术和难点技术,最后对该技术未来发展趋势进行了展望。
李斌
高小虎
邢旻
关键词:
激光
晶圆
晶片映射系统原理及实现算法研究
2011年
介绍了晶片映射系统及其原理。该系统修正了机械手采用传统方式自动取片时执行效率低、料片状态无纠错功能的弊端,并详细论述了该系统的实现细节及算法。
宫晨
高小虎
侯为萍
关键词:
机械手
晶片
映射
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