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齐天华

作品数:2 被引量:9H指数:2
供职机构:厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇压阻
  • 2篇压阻效应
  • 2篇阵列式
  • 2篇微机电系统
  • 2篇脉象
  • 2篇机电系统
  • 2篇仿真
  • 2篇ANSYS仿...
  • 2篇电系统
  • 1篇探头

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇高文秀
  • 2篇齐天华
  • 1篇刘继伟

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 2篇2005
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
阵列式脉象采集探头的设计被引量:2
2005年
提出了一种用微机电系统技术(MEMS)应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术,具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化,并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真,模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响。当悬臂梁末端位移变化为50μm时,电阻变化率模拟结果为18.84%,与理论计算值19.67%符合得很好。
齐天华高文秀
关键词:脉象压阻效应微机电系统ANSYS仿真
阵列式脉象传感器的设计与制作被引量:7
2005年
提出了一种用微机电系统(MEMS)技术应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术,具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化,并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真,模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响。当悬臂梁末端位移变化为50μm时,电阻变化率模拟结果为18.84%,与理论计算值19.67%符合得很好。
齐天华刘继伟高文秀
关键词:脉象压阻效应微机电系统ANSYS仿真
共1页<1>
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