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齐晶

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇向量
  • 3篇光学邻近校正
  • 2篇散射
  • 2篇矢量
  • 2篇矢量化
  • 2篇参数初始化
  • 2篇成品率
  • 2篇初始化
  • 1篇预处理
  • 1篇支持向量
  • 1篇支持向量机
  • 1篇向量机
  • 1篇分辨率

机构

  • 3篇浙江大学

作者

  • 3篇齐晶
  • 2篇史峥
  • 2篇罗凯升
  • 2篇林斌

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
用矢量化参数确定规则插入散射条配方的方法
本发明公开了一种用矢量化参数确定规则插入散射条配方的方法。本发明方法包括光刻模型、光学邻近校正、散射条参数初始化，载入一维图形，计算工艺窗口得到一维向量最优解，载入二维图形，计算工艺窗口得到二维向量最优。本发明能快速确定...
齐晶史峥林斌罗凯升
纳米尺度下光学邻近校正的预处理与后验证研究
作为超大规模集成电路制造中图形转移部分(Pattern Transfer)的关键方法,光刻技术(Photo-1ithography)越来越显得举足轻重。特别是由于工艺进入纳米尺度,对于目前的65纳米和45纳米技术节点,因...
齐晶
关键词：光学邻近校正支持向量机
用矢量化参数确定规则插入散射条配方的方法
本发明公开了一种用矢量化参数确定规则插入散射条配方的方法。本发明方法包括光刻模型、光学邻近校正、散射条参数初始化，载入一维图形，计算工艺窗口得到一维向量最优解，载入二维图形，计算工艺窗口得到二维向量最优。本发明能快速确定...
齐晶史峥林斌罗凯升
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