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龚姗姗
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2
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清华大学
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李勇
清华大学
彭良强
清华大学
陈旭鹏
清华大学
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机构
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清华大学
作者
2篇
陈旭鹏
2篇
龚姗姗
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彭良强
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李勇
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1篇
2008
1篇
2005
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阵列微细型孔的电化学加工工艺
本发明公开了属于微细加工领域的以微小间隙电解蚀除加工为核心,将光刻和电铸工艺、精密电火花线切割加工技术融合的金属合金材料的阵列微细型孔的电化学加工工艺。采用线切割或光刻电铸工艺制作阵列微细电极,对金属合金材料进行电解蚀除...
李勇
龚姗姗
陈旭鹏
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阵列微细型孔的电化学加工工艺
本发明公开了属于微细加工领域的以微小间隙电解蚀除加工为核心,将光刻和电铸工艺、精密电火花线切割加工技术融合的金属合金材料的阵列微细型孔的电化学加工工艺。其方法是采用线切割或光刻电铸工艺制作阵列微细电极,对金属合金材料进行...
李勇
龚姗姗
陈旭鹏
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