章琳
- 作品数：12 被引量：48H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 准分子激光刻蚀聚合物制作微光学元件
- 该文主要描述了两种波托准分子激光消融刻蚀聚合物制作位相光栅,以及准分子激光消融刻蚀某些无机材料的实验研究.实验中主要研究了两种波长准分子激光对PI(polyimide)、PC(polycarbonate)和PMMA(po...
- 章琳
- 关键词：准分子激光刻蚀
- 文献传递
- 紫外激光检测织物成分的方法
- 一种紫外激光检测织物成分的方法。采用功率密度大于待测织物表面熔化阈值的紫外激光束辐照待测织物的表面,经过激光束辐照处理后的待测织物表面放在显微镜下观测,获得待测织物的显微照片,待测织物的显微照片与标本样品的显微照片对比,...
- 楼祺洪周翔黄峰魏运荣董景星方爱平章琳
- 文献传递
- 准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究被引量：6
- 2002年
- 主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺 (polyimide ,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法 。
- 章琳楼祺洪魏运荣董景星李铁军黄峰
- 关键词：刻蚀PI聚酰亚胺
- 193nm和308nm准分子激光对聚合物刻蚀特性的比较被引量：14
- 2002年
- 描述了两种典型准分子激光 (XeCl:30 8nm ,30ns和ArF :193nm ,17ns)对三种常用聚合物PC ,PI和PMMA的刻蚀实验研究。着重讨论准分子激光对聚合物的刻蚀机制 ,并比较了这两种激光对三种聚合物的刻蚀性能。
- 章琳楼祺洪魏运荣董景星李铁军黄峰
- 关键词：准分子激光刻蚀
- 紫外激光切割Si片的实验研究被引量：20
- 2002年
- 报道了用 193nm准分子激光切割硅片的实验结果。采用柱透镜光学系统及“热劈裂法”获得小于 15 μm的切缝及小于 5
- 楼祺洪章琳叶震寰董景星魏运荣
- 关键词：紫外激光硅片半导体
- 一种可用于XeCl准分子激光传输的新型金属光波导的研究
- 2001年
- 研究了一种由表面镀铝的磷青铜作为反射面的矩形型波导传输紫外光束的性能。实验结果表明 ,这种波导能够有效地传输 30 8nm紫外光束 ,传输率可达 72 % m。充入氦气能有效地提高紫外光束的传输率。并对于不同弯曲程度对波导损耗的影响以及如何提高波导传输率 ,降低弯曲损耗进行了分析。
- 雷博楼祺洪董景星魏运荣黄峰李铁军章琳
- 关键词：XECL准分子激光传输率
- LD抽运Nd：YAG板状激光器介质温度特性的实验研究
- 对研究了LD抽运Nd:YAG板状激光器介质的温度特性.利用热像仪测量,给出了板状激光介质在不同抽运电流下温度分布的热像图和定性分析.指出热像仪测量是一种可行的测量实际冷却效果的方法.
- 方爱平楼祺洪董景星魏运荣李铁军黄峰章琳
- 关键词：温度特性激光二极管抽运激光介质
- 文献传递
- 高功率同轴抽运宽带拉曼放大被引量：2
- 2001年
- 研究了在宽带条件下非聚焦的同轴拉曼放大 ,采用CH4 作为放大拉曼介质 ,抽运源为 2 48nm的高功率KrF准分子激光系统 ,最高抽运能量为 1 5J。给出了拉曼链一级放大器的级增益随小信号增益系数及放大器气压的变化。最后讨论了限制同轴宽带抽运拉曼放大的因素。
- 雷博楼棋洪董景星魏运荣黄峰李铁军章琳
- 关键词：宽带光束质量拉曼放大激光
- 紫外激光检测织物成分的方法
- 一种紫外激光检测织物成分的方法。采用功率密度大于待测织物表面熔化阈值的紫外激光束辐照待测织物的表面，经过激光束辐照处理后的待测织物表面放在显微镜下观测，获得待测织物的显微照片，待测织物的显微照片与标本样品的显微照片对比，...
- 楼祺洪周翔黄峰魏运荣董景星方爱平章琳
- 文献传递
- 准分子激光微细加工被引量：4
- 2002年
- 准分子激光对无机和有机材料都有着很好的消融和蚀刻性能 .
- 楼祺洪章琳
- 关键词：准分子激光消融蚀刻微细加工
