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肖含立

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇单轴
  • 3篇十字滑块联轴...
  • 3篇同轴度
  • 3篇汽车
  • 3篇汽车后桥
  • 3篇主减速器
  • 3篇主减速器总成
  • 3篇总成
  • 3篇联轴器
  • 3篇滑块
  • 3篇减速
  • 3篇减速器
  • 3篇减速器总成
  • 1篇声场
  • 1篇驻波声场
  • 1篇微机电系统
  • 1篇刻蚀
  • 1篇机电系统
  • 1篇干法刻蚀
  • 1篇SOI

机构

  • 5篇电子科技大学

作者

  • 5篇肖含立
  • 4篇丁杰雄
  • 4篇陈栋
  • 3篇霍彦波
  • 3篇王东
  • 3篇梁莹林
  • 3篇谢东
  • 1篇王宇翔
  • 1篇华晨辉

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2010
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
MEMS超声分离腔的二维简正模式激发技术研究
与MEMS（Micro Electro-Mechanical System）技术结合的超声分离方法在微流体领域有无法比拟的优点和广阔的应用前景。早期的MEMS超声分离器基于平面驻波模式（一维模式），但该分离器因存在结构上...
肖含立
关键词：微机电系统
文献传递
用于汽车后桥或主减速器总成驱动试验的十字滑块联轴器
本发明涉及用于汽车后桥或主减速器总成驱动试验的十字滑块联轴器，包括第一半联轴器、第二半联轴器和两者之间的中间十字滑块，所述第一半联轴器、中间十字滑块和第二半联轴器上均具有中心孔，所述第一半联轴器上的中心孔用于插装连接驱动...
丁杰雄陈栋霍彦波梁莹林谢东王东肖含立
文献传递
用于汽车后桥或主减速器总成驱动试验的十字滑块联轴器
本实用新型涉及用于汽车后桥或主减速器总成驱动试验的十字滑块联轴器，包括第一半联轴器、第二半联轴器和两者之间的中间十字滑块，所述第一半联轴器、中间十字滑块和第二半联轴器上均具有中心孔，所述第一半联轴器上的中心孔用于插装连接...
丁杰雄陈栋霍彦波梁莹林谢东王东肖含立
文献传递
用于汽车后桥或主减速器总成驱动试验的十字滑块联轴器
本发明涉及用于汽车后桥或主减速器总成驱动试验的十字滑块联轴器，包括第一半联轴器、第二半联轴器和两者之间的中间十字滑块，所述第一半联轴器、中间十字滑块和第二半联轴器上均具有中心孔，所述第一半联轴器上的中心孔用于插装连接驱动...
丁杰雄陈栋霍彦波梁莹林谢东王东肖含立
基于SOI技术的MEMS超声分离器制备方法研究
2010年
基于简正模式的MEMS超声分离器对分离腔的侧壁垂直度、深度均匀性以及表面平整度等要求较高,结合IC工艺重点探讨、研究了超声分离器腔体制作方法。提出将SOI(silicon on insulator)片作为刻蚀基底,采用等离子体干法刻蚀、硅/玻璃键合以及激光热加工等技术制备分离器,成功制备出腔体深度分别为137μm和200μm的分离器,腔体深度误差均在±2μm以内,腔体表面粗糙度Ra<10 nm,腔体侧壁垂直度达83°。为MEMS超声分离器的制备提供了一种简便、高效的工艺方法。
肖含立丁杰雄华晨辉陈栋王宇翔
关键词：干法刻蚀IC工艺
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