钟砚超
- 作品数：8 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计被引量：1
- 2006年
- 利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm.
- 孔庆峰梁静秋钟砚超侯凤杰李佳孙德贵
- 关键词：光开关电磁驱动悬臂梁聚酰亚胺
- 聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验被引量：4
- 2007年
- 设计制作了一种电磁驱动式悬臂梁.为降低驱动电流,选择柔韧性较好的聚酰亚胺(PI)作为梁结构材料,其优良的绝缘性和耐热性保证了驱动线圈的功能实现.通过理论计算及有限元模拟仿真对悬臂梁动力响应及结构模态做了系统分析;根据分析结果,优化得到悬臂梁的结构参数.介绍了悬臂梁的制作工艺及流程,通过PI刻蚀、AZ4903光刻胶光刻、电铸等工艺过程,制作出PI悬臂梁及其末端驱动线圈.
- 钟砚超梁静秋李小奇李伟王淑荣梁中翥孙德贵
- 关键词：悬臂梁有限元分析光刻
- 柔性悬臂微机械光开关制作方法
- 本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关的制作方法。制作过程包括：基片处理，制作牺牲层，制作聚酰亚胺底层，制作第一层线圈，制作线圈连接柱，制作第二层线圈，制作上保护层及悬臂释放，粘接永磁体，安装棱柱形微反射...
- 梁静秋钟砚超梁中翥陈斌孙德贵
- 文献传递
- 一种微型光开关的设计与仿真分析被引量：9
- 2008年
- 介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析。运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系。当输入电流为75mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02mm,能够满足器件转换光路的要求。
- 李伟梁静秋李小奇钟砚超梁中翥孙德贵
- 关键词：微机电系统光开关有限元分析电磁驱动
- 光通信中的新型光无源器件被引量：1
- 2009年
- 基于全光网络的迅猛发展,本文简单介绍了波分复用器、光开关、光插/分复用器件方面的新型光无源器件,对器件原理、功能进行了阐述。文章对这些实现技术的特点进行了详细的分析和比较,最后给出了结论和展望。
- 梁中翥钟砚超孔庆峰梁静秋
- 关键词：全光网络波分复用器光开关MOEMS
- 用于波长信道选择器的微型电磁光开关研究
- 在新一代超高速光纤通信系统中，最具代表性的就是光波分复用(WDM)系统。其突出特点是有效的利用单模光纤低损耗区带来的巨大带宽资源，极大地提高了通信系统的传输容量。
波长信道选择器是WDM系统中不可缺少的功能器件，光...
- 钟砚超
- 关键词：聚酰亚胺悬臂梁光开关有限元分析光波分复用系统
- 柔性悬臂微机械光开关制作方法
- 本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关的制作方法。制作过程包括：基片处理，制作牺牲层，制作聚酰亚胺底层，制作第一层线圈，制作线圈连接柱，制作第二层线圈，制作上保护层及悬臂释放，粘接永磁体，安装棱柱形微反射...
- 梁静秋钟砚超梁中翥陈斌孙德贵
- 文献传递
- 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计
- 本文利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度...
- 孔庆峰梁静秋钟砚超侯凤杰李佳孙德贵
- 关键词：光开关电磁驱动悬臂梁聚酰亚胺
- 文献传递
