陈四海
- 作品数：115 被引量：249H指数：9
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 非致冷红外固体摄像机系列
- 易新建张天序陈四海何兆湘王宏臣曹治国王岳环黄光刘靖徐隆
- 主要技术指标：光谱响应：8-12μm；像元数：320×240；NETD：80mK；对人观察距离：＞750m；观察车辆距离：＞2km。除完成上述合同规定外，还开发了160×120和128×128元摄像机。先进性：①能在室温...
- 关键词：
- 关键词：红外摄像机
- 一种微透镜的制备方法及其产品
- 本发明公开了一种微透镜的制备方法及其产品，该方法包括：在基片上执行光刻工艺以形成直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；对所形成的凸台结构执行刻蚀工艺并清洗掉光刻胶，形成由基片材料构成的凸台结构；在基片及凸台结构上再次执行...
- 周一帆陈四海罗欢王文涛
- 文献传递
- 基于共晶的MEMS芯片键合技术及其应用被引量：8
- 2004年
- 叙述了MEMS封装中共晶键合的基本原理和方法 ,分析了Au Si、Au Sn、In Sn等共晶键合技术的具体工艺和发展 。
- 陈明祥易新建刘胜甘志银陈四海
- 关键词：芯片键合共晶键合MEMS
- 一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法
- 本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒...
- 陈四海王宏臣黄光何少伟付小朝易新建马宏
- 文献传递
- 反应离子束溅射沉积和还原退火工艺制备VO_x多晶薄膜被引量：2
- 2004年
- 通过反应离子溅射沉积和后退火工艺制备出优质微测辐射热计用的氧化钒薄膜。对薄膜退火前后进行了扫描电子显微镜分析,结果表明,制备的VOx多晶薄膜致密均匀,退火后晶粒尺寸变大。电学测试表明,在室温时薄膜的方块电阻约为50kΩ,电阻温度系数为-0.022/K,满足制作高性能微测辐射热计的要求。
- 周少波王双保陈四海易新建
- 关键词：氧化钒薄膜微测辐射热计
- 微型柔性剪切应力传感器的制作研究被引量：7
- 2005年
- 利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。
- 陈四海汪殿民朱福龙徐涌易新建
- 关键词：微机电系统
- 高TCR氧化钒薄膜研究进展被引量：4
- 2011年
- 氧化钒薄膜的高电阻温度系数(TCR)是制作高灵敏度非制冷红外探测器的一个极其重要的参量。探测器的响应率与TCR紧密相关。高TCR将提升红外探测器的探测性能。鉴于氧化钒薄膜TCR的重要性,综述了近几年国内外研究中制备高TCR氧化钒薄膜的新技术并分类归纳:包括离子束增强沉积(IBED)法,反应脉冲激光沉积技术等。由于氧化钒薄膜具有VO2、VO5等多种价态结构,不同的制备条件和方法所生成的氧化钒薄膜TCR大小也不同,因此,分析了相关技术方法的优缺点,并对高TCR进行了一定的理论解释。
- 王彬赖建军陈四海
- 关键词：电阻温度系数氧化钒红外探测
- 氧化钒薄膜的制备及其光电特性研究被引量：16
- 2003年
- 采用一种新工艺在Si和Si3 N4衬底上制备了性能优良的氧化钒薄膜 ,并对其微观结构和光电特性进行了研究。测试结果表明采用新工艺所制备的氧化钒薄膜在相变前后电阻率变化达到 3个数量级 ,红外透过率在相变前后改变达到 6 0 %。
- 王宏臣易新建陈四海黄光李雄伟
- 关键词：氧化钒薄膜光电特性微光开关
- 分视场成像光谱仪
- 设计了一种地面分辨率为5m(飞行平台20km),视场角为60°×60°的成像光谱仪系统。该系统采用了微透镜扫描器和微F-P腔可调协滤波器作为整个系统的核心器件。首先60°×60°视场分为四部分,然后微透镜扫描器将这四部分...
- 董珊陈四海向思桦王明赖建军易新建
- 关键词：成像光谱仪CCD
- 文献传递
- 一种偏振无关半导体光放大器
- 本发明提供的一种偏振无关半导体光放大器，依次包括InP衬底、n型InP缓冲层，张应变量子阱结构有源区、p型InP包层、p型InGaAs接触层，其顶层和底层附有电极，其特征在于：张应变有源区的材料为AlGaInAs。本发明...
- 马宏陈四海赖建军易新建
- 文献传递
