陈旭远
- 作品数：14 被引量：31H指数：3
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金福建省科技重大专项福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺电气工程更多>>
- 一种可调整降低正交误差的微陀螺仪
- 一种可调整降低正交误差的微陀螺仪，涉及一种陀螺仪。设有下层为衬底，衬底表面设有悬浮结构层准备的深槽；上层为单晶硅整体制作通过局部刻蚀形成陀螺机械结构，包括驱动框架、检测质量块、悬浮检测电极质量块、电隔离梁、驱动支承梁、检...
- 闫鑫陈旭远伞海生
- RF MEMS开关的力电耦合仿真分析被引量：4
- 2007年
- 设计了一种曲臂折合结构的固支梁式RF MEMS开关。并用ANSYS有限元分析软件对此结构模型及3种基本的固支梁式RF MEMS开关结构模型进行力电耦合仿真模拟。通过静态、模态分析,得出了不同开关结构的激励电压、固有频率和阻尼Q因子。通过谐振态分析和瞬态分析再现了各结构开关在高频激励电压下的工作情况,并用"位移/时间"表量化显示了固支梁在单周期内下拉、回复过程中的运动轨迹。通过数值计算和比较,结果表明:曲臂折合式开关具有较低的下拉电压和较高响应速度,以及更稳定的工作模态。
- 刘肖陈旭远
- 关键词：ANSYSMEMS
- 复合型微能源系统及其制备方法
- 复合型微能源系统及其制备方法，涉及一种微能源系统。提供一种可有效提高能量搜集效率，特别适用于为微系统或微器件提供“永久性”工作能源的复合型微能源系统及其制备方法。设有3片基片、2层金属层和接触开关，3片基片成三明治结构，...
- 陈旭远姜澜徐鹏伞海生朵英贤
- 文献传递
- 压容式传感器基片成腔方法
- 精度高、费用省、操作简便、质量稳定的压容式传感器基片成腔方法，加工步骤为：①在选取的硅片一面经氧化形成二氧化硅层；②在二氧化硅层上面涂覆光刻胶层，经曝光、显影，形成微结构凹腔Ⅰ其底面物质为二氧化硅；③以光刻胶层为掩膜，用...
- 赵玉成陈旭远
- 文献传递
- 一种红外光源及其制备方法
- 一种红外光源及其制备方法，涉及一种红外光源。提供一种基于绝缘体上的硅晶片，具有体积小、能耗低、发射强度高、调制频率高、电-光能量转换效率高等特点的红外光源及其制备方法。设有支撑框架、发光薄膜结构和电极，发光薄膜结构支撑于...
- 陈旭远伞海生
- 文献传递
- MEMS红外光源的研发中试，汽车工业用压力传感器产业化及微纳米技术产业化工艺平台开发与建设
- 陈旭远伞海生石鹏杜永刚傅万里
- 1、MEMS红外光源： 微电子机械系统（MEMS）红外光源采用硅体微机械加工技术开发制造。光源使用绝缘体上硅（SOI）晶片以简化制造工艺，以多晶硅材料为电阻加热发光薄膜，通过微米量级发光层实现高调制频率（不低于40Hz...
- 关键词：
- 关键词：红外光源汽车工业压力传感器
- 一种红外光源及其制备方法
- 一种红外光源及其制备方法，涉及一种红外光源。提供一种基于绝缘体上的硅晶片，具有体积小、能耗低、发射强度高、调制频率高、电-光能量转换效率高等特点的红外光源及其制备方法。设有支撑框架、发光薄膜结构和电极，发光薄膜结构支撑于...
- 陈旭远伞海生
- 文献传递
- 复合型微能源系统及其制备方法
- 复合型微能源系统及其制备方法，涉及一种微能源系统。提供一种可有效提高能量搜集效率，特别适用于为微系统或微器件提供“永久性”工作能源的复合型微能源系统及其制备方法。设有3片基片、2层金属层和接触开关，3片基片成三明治结构，...
- 陈旭远姜澜徐鹏伞海生朵英贤
- 文献传递
- 基于绝缘体上硅晶片的微机电系统红外光源被引量：3
- 2010年
- 提出了一种利用微机电系统（MEMS）制造工艺技术制备的硅基微型红外光源。该光源使用绝缘体上硅（SOI）晶片作为基底材料,其上沉积多晶硅材料并通过离子注入工艺实现材料的电阻加热发光特性,SOI晶片上的单晶硅层通过重掺杂实现辐射光背向吸收自加热效应。利用SOI晶片中的掩埋二氧化硅层为刻蚀停止层,通过背面深反应离子刻蚀（DRIE）技术制备微米量级的薄膜发光层结构。光源表面工作温度和辐射光谱分别通过红外热像仪和光谱辐射计测量得到。实验结果表明,该光源在表面温度约700 K时,1.3~14.5μm波长内的能量转换效率约为5.58%,光源的调制频率在50%的调制深度下接近40 Hz。
- 钱昆李方强程美英伞海生陈旭远
- 关键词：光学制造红外光源微机电系统绝缘体上硅调制光谱
- 基于微机电系统的振动能量采集器件设计分析被引量：19
- 2009年
- 微能量采集器中电容式采集器易与IC工艺集成,目前已知的传统电容式微能量采集器都需要外加电压,这在很大程度上限制电容式微能量采集器的实际使用。针对该问题,基于微机电系统工艺,提出功函数原理电容式微能量采集器,给出采用两种不同金属作为电容极板电极的采集器原理模型设计,并建立相应系统数学模型,计算大致悬臂梁长度的设置与范围,使用有限元模拟软件ANSYS进行进一步分析与优化设计。在此理论基础上设计出的新型振动能量采集器,可克服传统电容式微能量采集器需要外界提供电源这一缺点。
- 李林郭隐彪陈旭远
- 关键词：功函数微机电系统
