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许海峰

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：上海大学机电工程与自动化学院精密机械工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇柱面
  • 1篇柱面波
  • 1篇转换器
  • 1篇面形
  • 1篇计量学

机构

  • 1篇深圳大学
  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇于瀛洁
  • 1篇许海峰
  • 1篇彭军政

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
柱面面形干涉测量被引量：3
2015年
介绍了一种柱面面形干涉测量方法。该方法选用计算全息片作为柱面波转换器，能够将平面干涉仪出射的平面波转换成理想柱面波前，依此为基础，建立了柱面干涉测量系统，能够实现柱面的干涉测量。为了获得柱面的真实面形误差，分析了调整误差引起的失调像差，并给出了失调像差的分离方法。最后，以玻璃圆柱体为被测样本，对单孔径面形的重复性进行验证，20次测量结果峰谷值（PV）标准差为20．2nm，为PV平均值的0．55％。
于瀛洁许海峰彭军政
关键词：计量学
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共1页<1>
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