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陈晨

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院更多>>
相关领域：建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇建筑科学

主题

  • 1篇有限元
  • 1篇有限元法
  • 1篇溅射
  • 1篇场分布
  • 1篇磁场
  • 1篇磁场分布
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射靶

机构

  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇陈长琦
  • 1篇陈晨
  • 1篇闫清泉

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
矩形平面磁控溅射靶磁场的数值模拟与优化
磁控溅射技术因其溅射速率高、沉积温度低、能溅射绝缘靶材等优点，被广泛应用于工业生产和科学研究领域。然而磁控溅射技术也有靶材利用率低、溅射过程不稳定、沉积速率低和离化率低等缺点，影响沉积薄膜的品质和生产效率。在实际的经典结...
陈晨陈长琦闫清泉
关键词：磁控溅射有限元法磁场分布
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共1页<1>
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