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陈晨
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1
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供职机构:
合肥工业大学机械与汽车工程学院
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相关领域:
建筑科学
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合作作者
闫清泉
合肥工业大学机械与汽车工程学院
陈长琦
合肥工业大学机械与汽车工程学院
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机构
1篇
合肥工业大学
作者
1篇
陈长琦
1篇
陈晨
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闫清泉
年份
1篇
2014
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矩形平面磁控溅射靶磁场的数值模拟与优化
磁控溅射技术因其溅射速率高、沉积温度低、能溅射绝缘靶材等优点,被广泛应用于工业生产和科学研究领域。然而磁控溅射技术也有靶材利用率低、溅射过程不稳定、沉积速率低和离化率低等缺点,影响沉积薄膜的品质和生产效率。在实际的经典结...
陈晨
陈长琦
闫清泉
关键词:
磁控溅射
有限元法
磁场分布
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