魏凯
- 作品数：20 被引量：48H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学航天学院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 光刻机微动台的运动解耦及位置控制研究被引量：2
- 2015年
- 在分析了光刻机掩膜台微动台(简称微动台)结构的基础上,对微动台的六自由度运动进行了几何解耦,将其分解为两个三自由度上的解耦,并从实际系统的角度出发完成了解耦计算。最后针对微动音圈电机位置控制,提出了基于线性扩张状态观测器的增量式PID控制,并取得了良好的控制效果。
- 魏凯王伟峰范文超陈兴林
- 关键词：微动台运动解耦扩张状态观测器增量式PID
- 基于VME自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法
- 基于VME自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法，属于运动控制的信号采集与数据通信技术领域。为了解决多运动控制卡同时读取光栅尺数据时，存在竞争冒险、相互干扰和实时同步性能差的问题。方法包括：单一运动控制卡输...
- 陈兴林魏凯宋法质范文超徐加彦刘法志刘杨
- 文献传递
- 全双工与半双工转换器及转换方法
- 全双工与半双工转换器及转换方法，涉及全双工与半双工通信兼容技术。它为了解决解决采用RS422串口通信的数据处理卡与采用RS485串口通信的信号采集卡直接进行通信时，存在数据丢失或误码率高的问题。本发明在半双工信号采集模块...
- 陈兴林范文超王伟峰刘杨魏凯王斌
- 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统
- 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME...
- 陈兴林刘法志刘帅刘启循魏凯范文超张之万杨旭东
- 文献传递
- 基于改进的高斯混合模型的运动目标检测被引量：33
- 2015年
- 运动目标检测是实现目标跟踪、视频监控的基础。针对基于高斯混合模型的运动目标检测算法的不足,提出了一种基于分块思想和高斯模型个数自适应的改进高斯混合算法。利用对视频图像分块的思想,在提高目标检测效率的同时,实现对视频的滤波处理;并利用高斯混合模型中高斯分布个数自适应操作来降低算法复杂度,提高运动目标检测的速度。实验结果表明:该算法比传统高斯混合模型运动目标检测算法具有更快的检测速度和更好的检测效果,并降低了检测噪声,能有效地检测运动目标,适用于运动目标的实时检测。
- 范文超李晓宇魏凯陈兴林
- 关键词：运动目标检测高斯混合模型自适应
- 基于FPGA的从设备VME总线接口设计被引量：3
- 2016年
- VME总线因其实时性强、可靠性高等特点,使得其在工业控制中得到了广泛的应用。由于FPGA采用硬件并行进行逻辑运算,使其具有很高的运行效率。再加上它丰富的I/O口和简易的编程语言等特点,在工控领域应用十分广泛。使用VME总线接口芯片进行设计,会使得系统复杂、灵活性低,而且有时不能满足复杂的控制要求。本文介绍一种利用FPGA实现VME总线通信协议的方法。利用FPGA的灵活性和稳定性,实现从设备的VME总线接口设计。
- 万勇利魏凯韩记晓陈兴林
- 关键词：VME总线协议从设备接口
- 主从结构超精密运动平台的宏微控制系统设计被引量：3
- 2015年
- 本文对超精密运动平台宏微控制系统进行了设计,并分析对比了两种主从结构的宏微策略,确定了宏动跟随微动的设计方案。针对光刻机宏微模型耦合部分引起的平台运动控制误差,本文引入了线性状态观测器对其进行补偿,并针对微动台音圈电机位置伺服系统设计了线性扩张状态观测器来实现对干扰的抑制。实验结果表明,加入线性状态观测器能够提高宏微控制系统的控制性能。
- 范文超李晓宇陈兴林魏凯
- 关键词：光刻机
- 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统
- 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME...
- 陈兴林刘法志刘帅刘启循魏凯范文超张之万杨旭东
- 文献传递
- 双工件台换台实现过程中宏动系统的扰动抑制研究
- 双工件台换台是光刻机研制的核心，也是完成后续扫描光刻任务的前提，换台过程要求高速度和高精度，因此扰动的存在极易导致换台的失败。而双工件台宏动系统主要负责换台的大行程直线运动，只有重复定位精度达到指标要求的微米级，才能保证...
- 魏凯
- 关键词：光刻机状态观测器同步控制动态补偿
- 基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法
- 基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法，属于电路板串口调试领域。为了解决目前的硬件仿真器对电路板串口进行调试时易出错的问题。所述方法是基于FPGA、DSP和CPLD实现的，所述方法包括：采用FPGA确定运行DSP...
- 陈兴林刘法志刘帅刘启循魏凯张之万范文超杨绪东
- 文献传递
