许亿
- 作品数：10 被引量：18H指数：2
- 供职机构：北京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究被引量：1
- 2016年
- 采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器.使用法拉第杯和朗缪尔探针对90?弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试;用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜(diamond-like carbon,DLC);对相应位置上的类金刚石膜进行了Raman分析和膜厚测量.结果表明:磁过滤器出口所在平面的15个划分区域中离子能量分布接近麦克斯韦分布,离子能量分布与类金刚石膜的结构具有明显的对应特征,离子密度分布与DLC膜膜厚分布相互之间具有相关性.
- 李刘合刘红涛罗辑许亿
- 关键词：离子能量离子密度类金刚石膜拉曼光谱
- 一种空心阴极放电变径金属管内壁涂层的装置和方法
- 本发明公开了一种空心阴极放电变径金属管内壁涂层的装置和方法，该装置包括变径棒，其中，阴极靶台位于工作台支架的顶端；待处理管夹具固定待处理的变径金属管，并与待处理管支架连接，使得变径金属管通过待处理管支架而支撑于工作台支架...
- 李刘合景凯许亿
- 文献传递
- 溅射工艺参数对TiAlSiN涂层硬度及膜基结合力的影响被引量：6
- 2016年
- 近年来超硬涂层的出现,为高速切削、干式切削的高质量刀具的发展,提供了契机。本文开展了磁控溅射法制备TiAlSiN涂层的工艺研究,在不同工艺下,获得了厚度2.0-4.0μm的TiAlSiN涂层,运用纳米压入硬度测试仪、划痕仪和洛氏硬度计等对涂层性能进行表征,研究了制备工艺参数对涂层硬度、膜基结合力的影响规律。结果表明：随着氮氩比、沉积温度和基体负偏压的增大,纳米硬度和弹性模量都是先升高后降低。靶基距为8 cm、温度为100℃、氮氩比为1/3、靶电流为1.5 A、基体负偏压为-100 V时涂层的平均纳米硬度超过40 GPa,达到了超硬水平;涂层与高速钢基体的膜基结合力随着靶基距的加大而降低,随着磁控电流的增大而增大;在沉积温度和基体负偏压由低到高变化时,涂层结合力变化趋势一致,都是先升高后降低。
- 马璇李刘合刘红涛许亿马全胜朱鹏志
- 关键词：磁控溅射
- 一种空心阴极放电变径金属管内壁涂层的装置和方法
- 本发明公开了一种空心阴极放电变径金属管内壁涂层的装置和方法，该装置包括变径棒，其中，阴极靶台位于工作台支架的顶端；待处理管夹具固定待处理的变径金属管，并与待处理管支架连接，使得变径金属管通过待处理管支架而支撑于工作台支架...
- 李刘合景凯许亿
- 文献传递
- 一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法
- 一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法，它有六大步骤：一、待处理管内壁涂层前清洁处理：二、组装一种电子增强等离子体放电管内壁涂层装置；三、完成对真空室的抽真空，通过惰性气体馈送管道通入惰性气体，再通过待处理管进入绝缘罩...
- 李刘合许亿罗辑
- 文献传递
- 一种离子注入或注入且沉积系统
- 本发明公开一种离子注入或注入且沉积系统，包括：注入或注入且沉积工作室，其内部在处理工件时处于真空状态；阴极靶台，将待处理的工件支撑于所述注入或注入且沉积工作室内；粒子馈送源，用于给所述注入或注入且沉积工作室供应粒子；粒子...
- 李刘合谷佳宾许亿
- 梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响被引量：11
- 2017年
- 目的分析不同类型的梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石涂层耐磨性能的影响,制备出能有效改善硬质合金减摩抗磨性能的类金刚石涂层。方法采用真空阴极电弧离子镀和等离子体增强化学沉积技术,在硬质合金基底上制备了Ti/TiC/DLC、Ti/TiN/DLC、Ti/TiN/TiNC/DLC和Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC四种类型的Ti多元梯度过渡类金刚石涂层。通过GNEHM-150型洛氏硬度计和电子显微镜、MFT-4000多功能材料表面性能试验仪、纳米硬度测试仪,分别评价不同类型多元梯度过渡层对硬质合金类金刚石涂层的膜基结合强度、摩擦磨损性能及纳米硬度。结果 Ti/TiC/DLC、Ti/TiN/DLC、Ti/TiN/TiNC/DLC和Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC四种类型涂层的膜基结合强度等级分别为HF3-HF4、HF5-HF6、HF1-HF2、HF1,对两种膜基结合强度较好的涂层(Ti/TiN/TiNC/DLC、Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC)进行摩擦磨损检测,其摩擦系数分别为0.2、0.1,且经过60 min对摩,Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC涂层仍未出现明显剥落。结论梯度过渡层的类型对薄膜的膜基结合强度、摩擦性能有较明显的影响,Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC结构的涂层膜基结合强度最好,具有最低的摩擦系数,表现出了优异的减摩抗磨性能,可有效改善硬质合金表面的耐磨性能。
- 赵佳群李刘合景凯许亿刘红涛李光
- 关键词：类金刚石涂层梯度过渡层硬质合金耐磨性PECVD
- 一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法
- 一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法，它有六大步骤：一、待处理管内壁涂层前清洁处理：二、组装一种电子增强等离子体放电管内壁涂层装置；三、完成对真空室的抽真空，通过惰性气体馈送管道通入惰性气体，再通过待处理管进入绝缘罩...
- 李刘合许亿罗辑
- 文献传递
- 细管内壁沉积薄膜取得重要进展
- 2016年
- 管道是机械化工、生物医药、国防军工等领域的装备必不可少的组成部分。对管道内壁进行涂层或改性能够延长管道的使用寿命并拓宽其应用领域,具有重要的应用前景。国际上,管道,尤其是细长管道,因管道空间的限制,在其内壁制备涂层或改性一直是一个难题。北京航空航天大学现代涂层技术实验室提出了一种利用增强辉光放电等离子体离子注入且沉积技术（EGD—PIII＆．D）进行毛细管内壁涂层的方法。
- 李刘合许亿
- 关键词：国防军工辉光放电生物医药航空航天DIAMOND
- 一种离子注入或注入且沉积系统
- 本发明公开一种离子注入或注入且沉积系统，包括：注入或注入且沉积工作室，其内部在处理工件时处于真空状态；阴极靶台，将待处理的工件支撑于所述注入或注入且沉积工作室内；粒子馈送源，用于给所述注入或注入且沉积工作室供应粒子；粒子...
- 李刘合谷佳宾许亿
- 文献传递
