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刘浪

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学深圳研究生院更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电喷雾
  • 2篇修整
  • 2篇掩膜
  • 2篇掩膜版
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇高聚物
  • 1篇制作方法
  • 1篇显影

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇王晓浩
  • 2篇徐杰
  • 2篇倪凯
  • 2篇余泉
  • 2篇刘浪
  • 2篇钱翔
  • 2篇于赐龙

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种电喷雾微流体芯片、制作方法及掩膜版设备
一种电喷雾微流体芯片、其制作方法及掩膜版设备，该方法采用透光结构不同的两块掩膜版，通过依次使用两块掩膜版，可在不同的光刻胶深度上形成不同的结构，最终显影得到所需结构，以其作为微流体芯片成型模具，可使微流体芯片的喷雾口在微...
钱翔徐杰于赐龙刘浪余泉倪凯王晓浩
文献传递
一种电喷雾微流体芯片、制作方法及掩膜版设备
一种电喷雾微流体芯片、其制作方法及掩膜版设备，该方法采用透光结构不同的两块掩膜版，通过依次使用两块掩膜版，可在不同的光刻胶深度上形成不同的结构，最终显影得到所需结构，以其作为微流体芯片成型模具，可使微流体芯片的喷雾口在微...
钱翔徐杰于赐龙刘浪余泉倪凯王晓浩
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