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王文冲
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苏州大学
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迟力峰
苏州大学
孙迎辉
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一种原位形貌和光学性能监控蒸发源及真空沉积设备
本实用新型涉及一种原位形貌和光学性能监控蒸发源,它包括真空法兰、支撑于所述真空法兰任一侧面上的热屏蔽组件、嵌设于所述热屏蔽组件远离真空法兰一端的加热组件、内置于所述加热组件内的材料容器、安装于所述材料容器附近用于测量其温...
迟力峰
王文冲
文献传递
一种小剂量有机材料提纯方法及提纯设备
本发明涉及一种小剂量有机材料提纯方法及提纯设备,本发明的提纯方法包括如下步骤:将待提纯的有机源材料置于蒸发源中,将蒸发源安装在收集室上方,样品收集台设于收集室内部且位于蒸发源出口正下方,将收集室中的挡板调整至蒸发源出口和...
申学礼
迟力峰
王文冲
黄丽珍
王燕东
文献传递
有机小分子半导体生长及光电性能原位实时测量表征之集成系统
迟力峰
王文冲
黄丽珍
王燕东
申学礼
孙迎辉
有机小分子半导体器件制作过程分为薄膜和器件制作及表征两个方面。真空沉积是其常用的薄膜制备技术。所谓真空沉积,是将分子材料安装在容器中,通过加热使分子源材料温度高于其升华点或蒸发点,进而使分子脱离容器并定向喷射向衬底表面并...
关键词:
关键词:
半导体器件
真空沉积
薄膜制备技术
有机小分子半导体生长及光电性能原位实时测量表征之集成系统
2019年
有机小分子半导体器件制作过程分为薄膜和器件制作及表征两个方面。真空沉积是其常用的薄膜制备技术。所谓真空沉积,是将分子材料安装在容器中,通过加热使分子源材料温度高于其升华点或蒸发点,进而使分子脱离容器并定向喷射向衬底表面并形成薄膜的过程。分子在衬底表面的薄膜形成涉及到吸附、迁移、成核或者脱附等一系列过程,其与分子与表面的作用、温度和生长速率等参数息息相关。
迟力峰
王文冲
黄丽珍
王燕东
申学礼
孙迎辉
关键词:
有机小分子
光电性能
半导体器件
有机半导体器件原位电学性能智能监测设备
本发明涉及一种有机半导体器件原位电学性能智能监测设备,包括:真空腔体,提供器件制备及原位监测的真空环境;蒸发源,提供器件制备的原材料;检测组件,包括用于实现原位电学检测的探针、设置在真空腔体外的探针座和带动探针座移动的探...
申学礼
迟力峰
王文冲
黄丽珍
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一种小剂量有机材料提纯设备
本实用新型涉及提纯设备技术领域,具体涉及一种小剂量有机材料提纯设备,包括收集室、用以盛装待提纯有机源材料且出口设于所述收集室内部的蒸发源、设于所述蒸发源出口正下方的样品收集台、位置可调整的设于所述收集室内的挡板、用以对所...
迟力峰
申学礼
王文冲
黄丽珍
王燕东
文献传递
有机半导体器件原位电学性能监测设备
本发明涉及一种有机半导体器件原位电学性能监测设备,包括:真空腔体,提供器件制备及原位监测的真空环境;蒸发源,提供器件制备的原材料;检测组件,包括用于实现原位电学检测的探针、设置在真空腔体外的探针座和带动探针座移动的探针移...
申学礼
迟力峰
王文冲
黄丽珍
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可任意角度安装使用的真空蒸发源
本实用新型涉及涉及一种可任意角度安装使用的真空蒸发源,热屏蔽组件、真空法兰、容器、固定于所述热屏蔽组件内用于内置容器的加热组件、温度测量组件、安装在所述真空法兰上且分别与加热组件和温度测量组件相电连接的真空电连接器,所述...
迟力峰
王文冲
文献传递
可任意角度安装使用的真空蒸发源
本发明涉及一种可任意角度安装使用的真空蒸发源,热屏蔽组件、真空法兰、容器、固定于所述热屏蔽组件内用于内置容器的加热组件、温度测量组件、安装在所述真空法兰上且分别与加热组件和温度测量组件相电连接的真空电连接器,所述容器可拆...
迟力峰
王文冲
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一种原位形貌和光学性能监控蒸发源及真空沉积设备
本发明涉及一种原位形貌和光学性能监控蒸发源,它包括真空法兰、支撑于所述真空法兰任一侧面上的热屏蔽组件、嵌设于所述热屏蔽组件远离真空法兰一端的加热组件、内置于所述加热组件内的材料容器、安装于所述材料容器附近用于测量其温度的...
迟力峰
王文冲
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