易伟
- 作品数：19 被引量：31H指数：3
- 供职机构：昆明贵金属研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金云南省科技计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学冶金工程更多>>
- 扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征被引量：1
- 2016年
- WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能,已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层。迄今为止,中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口。因此,通过研究靶材制备工艺及性能的关系,制备出高密度、高纯度、富钛相β1(Ti,W)少的WTi合金靶材,不仅能够把握相关领域发展方向,并且具有十分可观的市场前景。本文用行星球磨的方式对Ti、W粉末进行预处理及混合,得到不同粒度组成的混合粉末,用真空热压法对粉末进行成型,制备得到的WTi10合金。利用X射线衍射仪(XRD)、金相和扫描电子显微镜(SEM)分析混合粉末的粒度组成,并对合金的结构和形貌进行分析,采用排水法及ICP测试仪,分析合金的密度及杂质含量。结果表明,在温度1 200℃,压力30 MPa的真空热压条件下,制备得到的4个样品均已形成体心立方β相的WTi固溶体。且混粉球磨时间对WTi固溶体的峰位及峰强没有影响。但粉末混合球磨时间对热压后合金的微观组织形貌影响较大,随着混粉时间的延长,富钛相β1呈先减少后增加的趋势,混粉3 h的热压得到的样品黑色富Ti固溶体相区域最少,性能最优,合金的密度均达到理论密度的99.48%,纯度>99.97%。采用该方法制备得到的WTi10合金可用于磁控溅射制备WTi扩散阻挡层。以上研究为真空热压法制备半导体行业用钨钛靶材的研究提供一定的基础研究数据。
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- 关键词：扩散阻挡层WTI真空热压相组成微观结构
- 磁记录用CoCrPt-SiO2合金的制备及其表征
- 2015年
- 垂直磁化用钴系合金已成为磁记录靶材开发的主流方向之一。用行星球磨的方式对Co、Cr、Pt、SiO2粉末进行预处理及混合，用真空热恪法对粉末进行成型，制备得到Co68Cr10Pt14-SiO2合金。利用X射线衍射仪、金相、扫描电子显微镜和磁透率测试仪对混合粉末进行分析表征。结果表明，制备得到的CoCrPt-SiO2合金由高温相面心立方固溶体（α-Co）、低温相密排六方固溶体（ε-Co）及SiO2颗粒3相组成；Cr和Pt在钴合金中主要以固溶的形式存在；由于高恪条件的诱导，SiO2在真空热恪前后发生了从非晶态到晶态的相变。制备得到的 Co68Cr10Pt14-SiO2合金中，SiO2颗粒平均尺寸为2.3μm （0.5~9.29μm），密度达到理论密度的97.75%，PTF值为54.44%。所得合金可用于磁控溅射制备CoCrPt-SiO2磁记录层。
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- 关键词：磁性材料相组成微观结构
- 一种铂网担载氧化铂电极材料及其制备方法
- 本发明公开了一种铂网担载氧化铂电极材料及其制备方法，所述铂网担载氧化铂电极材料的结构包括基底铂网(1)和PtO<Sub>2</Sub>活性层(2)。所述基底铂网(1)铂网目数为60～80目，丝直径0.09mm～0.12m...
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- 文献传递
- 铸态Ni-Pt二元合金的显微组织及力学性能被引量：2
- 2015年
- 通过光学显微金相分析、XRD分析以及显微硬度测试等实验手段，研究Pt添加量为5%-60%的铸态Ni-Pt二元合金的显微组织与力学性能。实验结果表明，Pt质量分数在5%-60%的Ni-Pt二元合金铸态组织为NiPt单相固溶体，且Ni-Pt固溶体为置换型固溶体，其固溶强化主要由Pt原子固溶到Ni基体中产生晶格畸变所导致，各晶面间距d随铂质量分数呈线性增大的趋势，显微硬度随Pt质量分数的增加而增大，且满足：Hv=2.10×Pt%＋85.04的线性数学表达式；铸态组织的柱状晶区的柱状晶随铂质量分数的增加向等轴晶和树枝晶发展，晶粒尺寸得到细化。当Pt质量分数达到6%时，铸态组织表现为发达的树枝晶，存在铸造裂纹。
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- 关键词：力学性能
- NiPt60%合金靶材磁控溅射前后形貌及结构观察被引量：3
- 2015年
- 镍合金和铂合金靶材是电子半导体行业重要的镀膜材料。悁究镍合金和铂合金靶材对于改善薄膜质量和提高器件性能有重要意义。采用2种不同工艺制备了NiPt60%合金溅射靶材。使用金相显微镜（OM），扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射仪（XRD）观察并分析了磁控溅射前后靶材表面的形貌及结构。结果表明，采用热轧-热处理制备的靶材晶粒粗大但均匀，平均晶粒尺寸约为100μm；采用温轧-热处理制备的靶材细小但不均匀，平均晶粒尺寸约为50μm。溅射后的靶材形貌与晶粒尺寸和分布息息相关。
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- 关键词：金属材料形貌靶材晶粒尺寸
- 喷雾干燥法制备钼合金微粉的研究被引量：3
- 2020年
- 钼合金的制备广泛采用原料粉末混匀、坯料压制、烧结成型的粉末冶金方法,因此原料粉末的纯度、混合的均匀程度、粉末粒径和形貌对钼合金制品的性能有重要影响。本实验采用溶液喷雾干燥法制备前驱体粉末,再将前驱体粉末在氢气气氛下进行高温还原制备钼钨合金粉和钼钌镍复合粉,研究了喷雾干燥工艺参数(溶液浓度、进料速度、干燥温度等)和还原热处理工艺参数(还原气氛、温度、时间等)对钼合金微粉粒径、成分和形貌的影响,此外还分析了钼钨合金化和钼钌镍复合粉钎焊性能。结果表明,采用溶液喷雾干燥结合还原热处理工艺,可获得粒径0.5~3μm的球形钼钨固溶体合金粉和0.5~2μm的球形钼钌镍复合粉,且钼钌镍复合粉在钼板上钎焊时具有优异的润湿性。
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- 关键词：钼合金喷雾干燥微米级合金粉
- 磁记录用CoCrPt-SiO2合金的制备及其表征
- 磁化用钴系合金已成为磁记录靶材开发的主流方向之一.用行星球磨的方式对Co、Cr、Pt、SiO2粉末进行预处理及混合,用真空热压法对粉末进行成型,制备得到Co68Cr10Pt14-SiO2合金.利用X射线衍射仪、金相、扫描...
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- 关键词：磁性记录材料显微组织性能表征
- 碳载体的预处理对Pt/C催化剂结构和性能的影响
- 2015年
- 采用一种新的调变多元醇制备方法,通过调节碳载体热处理条件,制备得到不同的Pt/C燃料电池催化剂。采用p H计及物理吸附仪表征碳黑表面的含氧官能团和比表面积,利用电感耦合等离子光谱、X射线衍射、透射电镜和循环伏安法分别表征催化剂的成分、物相组成、微观组织形貌和电化学性能,并与进口的Johnson Matthey（JM）Pt/C催化剂的性能进行对比。结果表明：采用调变多元醇法,以400℃热处理碳黑作载体所制备的Pt/C催化剂的电化学比表面积达到83 m^2·g^-1,质量电流密度为49.03 A·g^-1。而进口催化剂JM 20%Pt/C的电化学比表面积为77 m^2·g^-1,质量电流密度仅11.13 A·g^-1,自制催化剂即使Pt载量降低3wt%～4wt%,其电催化活性仍优于进口催化剂。
- 张俊敏谭志龙王传军毕珺易伟沈月管伟明闻明
- 关键词：催化催化剂PT/C炭黑微观结构
- 喷雾干燥结合微波煅烧氢还原法制备微米级球形钼粉被引量：9
- 2017年
- 以仲钼酸铵(优级纯)为原料,通过气流式雾化干燥结合微波煅烧氢还原法制备出微米级球形钼粉。重点研究雾化造粒过程和微波煅烧氢还原阶段的升温速率对最终Mo粉的形貌、粒度以及比表面积的影响及规律。结果表明,控制一定的工艺参数可以制备出微米级球形、分散性好的钼酸铵前驱体粉末。微波煅烧氢还原的升温速率越低,制备的Mo粉破碎越严重,且有少量团聚现象。升温速率越高,制备的Mo粉球形度越高,分散性越好。升温速率也直接影响平均粒度和比表面积,升温速率越低,平均粒度越小,而比表面积越大;升温速率越高,平均粒度相应越大,比表面越小。
- 赵盘巢易伟陈家林
- 关键词：钼粉升温速率
- 钌靶废料碱熔-水浸实验研究
- 2020年
- 采用碱熔-水浸法溶解难溶钌靶废料,研究熔剂种类、碱熔条件和水浸条件对钌溶解率的影响。结果表明,以Na2O2和NaOH组成的熔剂具有较高的碱熔效率;在配料质量比为Na2O2:NaOH:Ru=4:3:1的条件下,750℃碱熔3 h得到碱熔渣;在液固比为150:1 mL/g,95℃以水浸取碱熔渣4 h,钌靶废料的溶解率达到97.3%。
- 鲍冰李继刚易伟姚陈思琦郭磊徐浩李安金崔浩陈家林
- 关键词：贵金属冶金碱熔水浸
