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徐浩

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京航空航天大学材料科学与技术学院更多>>
发文基金：江苏省研究生培养创新工程项目江苏高校优势学科建设工程资助项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇等离子体增强
  • 1篇钝化
  • 1篇多晶
  • 1篇原子层沉积
  • 1篇AL

机构

  • 1篇常熟理工学院
  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇岳之浩
  • 1篇蒋晔
  • 1篇沈鸿烈
  • 1篇徐浩
  • 1篇邹健
  • 1篇宋扬
  • 1篇李杰
  • 1篇张磊

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体增强原子层沉积Al_2O_3钝化多晶黑硅的研究
2015年
黑硅的纳米结构可以大大降低硅表面的入射光反射率,同时由于比表面积的增加使其钝化成为难题,从而影响其太阳电池的性能。等离子体增强原子层沉积(PEALD)法沉积的Al2O3钝化层具有良好的保型性和致密性,适用于黑硅纳米微结构的钝化。本文使用金属辅助化学法制备多晶黑硅,再经低浓度碱溶液处理优化黑硅结构,最后用PEALD沉积了不同厚度的Al2O3钝化层。采用扫描电镜、分光光度计和少子寿命测试仪对黑硅的表面形貌、减反射特性和少子寿命变化进行了分析。结果表明碱溶液处理后黑硅表面结构变得更为平滑,Al2O3钝化的黑硅经退火后少子寿命达到8.96μs,在可见光范围内反射率降低至3.7%,与传统制绒工艺的多晶硅片相比性能有明显提升。
蒋晔沈鸿烈李杰岳之浩张磊舒栩宋扬徐浩邹健
关键词：钝化
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