王任鑫
- 作品数：102 被引量：55H指数：5
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金山西省基础研究计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于针尖阵列结构的石墨烯-PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法
- 本发明为一种基于针尖阵列结构的石墨烯‑PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法，包括顶面为针尖阵列结构设计的石墨烯‑PDMS柔性导电衬底，针尖阵列结构上沉积有聚对二甲苯薄膜，聚对二甲苯薄膜上溅射有金属种子层，金属种子层上溅...
- 王任鑫白建新程丽霞张国军薛晨阳张文栋
- 文献传递
- 面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构
- 本发明为一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构，解决了平台振动对海洋湍流探测干扰极大等技术瓶颈问题。本发明包括底座、湍流传感器和补偿传感器，湍流传感器由第一中空壳体、第一传感芯片、保护罩和保护柱组成；补偿传...
- 王任鑫张国军任子明白冰薛晨阳
- 文献传递
- 基于PDMS-石墨烯泡沫的柔性压力传感器被引量：6
- 2021年
- 为了解决柔性压力传感器在大的工作范围内工作时难以兼顾灵敏度的问题,设计了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)锥形微结构且夹层为石墨烯泡沫的柔性压力传感器。介绍了该传感器的制备方法,对比了有无锥形微结构的PDMS基底对传感器灵敏度的影响,分别对它们进行了相关测试。结果表明,具有锥形微结构基底的传感器具有更高的灵敏度,基于锥形微结构PDMS-石墨烯泡沫压力传感器有较大的工作范围(0~25 kPa),灵敏度为0.177 kPa^(-1),几百次的压力实验表明该传感器的重复性和可恢复性良好。因此,该传感器可以应用于电子皮肤和柔性电子器件等领域。
- 程丽霞郝晓剑王任鑫刘国昌
- 关键词：压力传感器
- 集成硅纤毛的MEMS矢量水听器的压阻特性
- 2021年
- 水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能。针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏单元,设计了一种新型基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式矢量水听器。通过理论及仿真确定最优尺寸,进行一体化工艺流程的设计,将硅纤毛直接集成在二氧化硅梁上,既提高了对准的精度,又缩小了整体尺寸。对制备的水听器芯片进行测试,得到了压敏单元的I-V特性。测试结果表明其阻值达到7 kΩ,同时测得该压敏单元的压阻系数为3.12×10^(-9) Pa^(-1),相比于传统p型[110]体硅压敏单元的压阻系数提高了约4.35倍,压阻系数的提升可以有效提高水听器的灵敏度。此设计能够优化水听器的性能,可为后续水听器的研究和改进提供新的思路。
- 齐秉楠王任鑫史一明苗晋威任子明
- 一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构
- 本发明涉及矢量水听器，具体是一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构。本发明解决了现有矢量水听器抗干扰能力差、灵敏度低的问题。一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构，包括四梁臂硅微结构、微型柱状体、中心连接体、驱动电极...
- 王任鑫张国军薛晨阳张文栋刘俊熊继军简泽明刘梦然郭楠王续博曾瑞
- 文献传递
- 基于Parylene封装的宽频带MEMS矢量水听器被引量：1
- 2015年
- 针对目前水听器的聚氨酯封装所导致的窄频带问题,提出一种新的高疏水Parylene薄膜无透声帽封装矢量水听器,即利用Parylene薄膜的淀积高保形性、低渗透性和高绝缘性实现无透声帽封装,解决透声帽带来共振峰引入问题,拓宽水听器的频带。实验结果表明:水听器的共振峰由450 Hz提高到了1 400 Hz。
- 王任鑫刘源张国军刘俊薛晨阳张文栋
- 关键词：PARYLENE宽频带微机电系统矢量水听器
- 面向声压传感的硅基槽式谐振腔设计及研究被引量：3
- 2023年
- 针对硅基波导腔在折射率传感领域的应用,提出了一种使用低杨氏模量的聚合物SU8作为上包层的硅基槽式微环谐振腔结构。基于耦合模理论优化了硅基槽式微环谐振腔的传输特性和特征参量,并分析了声压传感机理;采用MEMS工艺进行了器件的加工制备,并利用高温氮退火的方式对波导表面进行了光滑化处理;搭建了测试平台,对制备得到的谐振腔进行测试。测试结果表明:品质因数(Q值)可达2.76×10^(4),声压灵敏度可达2.19×10^(3)mV/kPa。相较于传统的全通型硅基波导微环谐振腔,文中设计的使用SU8封装的硅基槽式微环腔对光场的局域能力更强,在声压传感领域有着更好的应用潜力。
- 祝敏张文栋崔建功楚晓霞余亚鑫张国军王任鑫何常德杨玉华
- 关键词：微环谐振腔折射率传感品质因数
- 流量检测器及流量检测方法
- 本发明公开一种流量检测器及流量检测方法，流量检测器，包括两个面阵子探头和控制模块，两个面阵子探头可以分别作为超声波的发射端和接收端；控制模块至少包括两个收发控制电路以及计算控制子模块；计算控制子模块通过一个收发控制电路控...
- 张文栋何常德王红亮陈谋张国军王任鑫
- 电容式微机械超声换能器的水下收发性能被引量：3
- 2023年
- 为满足水下超声探测的应用需求,设计了一种采用硅基集成电路制造工艺制备的电容式微机械超声换能器(CMUT)。首先介绍了CMUT的工作原理及其结构参数,然后完成了CMUT的水密封装,最后对封装后CMUT的电容-电压(C-V)特性、发送电压响应级、接收灵敏度与回波信号进行测试。测试结果表明,封装后的CMUT具有良好的C-V特性,电容变化量最大可达313.7 pF,其发送电压响应级最大值为163.83 dB@2 MHz,接收灵敏度最大值为-228.27 dB@1 MHz,因此其在水下环境具备良好的发射超声波与接收超声波的能力。该研究结果为高密度CMUT阵列的设计和封装及水下超声探测提供了理论和应用依据。
- 党荣卢小星何常德彭波张国军王任鑫杨玉华崔建功张文栋
- 基于薄板理论的密排结构CMUT发射声场研究
- 2023年
- 由微机电系统(MEMS)工艺制作的电容式微机械超声换能器(CMUT),其具有宽频带,易与电子电路集成制作等优势,在医学成像领域具有广阔的应用前景。为了研究一种密排结构CMUT超声换能器的发射声场特征,该文提出了一种简单的物理域相互作用分析方法。基于薄板的振动理论,由CMUT单元的声学辐射原理及特性计算得到CMUT阵元辐射声场的解析解。通过振膜振动分布实验验证了采用薄板振动理论一阶振型方程的正确性。通过仿真和实验研究了CMUT发射单元在不同排布方式和条件下的声场分布、声轴声压和指向性,为CMUT的设计和性能分析提供了理论依据。
- 沈姝君何常德张彦军高鹏飞张国军杨玉华王任鑫张文栋
- 关键词：声场指向性声发射特性
