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张满

作品数：49 被引量：27H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省科技计划项目四川省应用基础研究计划项目更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 40篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 9篇电子电信
  • 3篇机械工程
  • 3篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 12篇纳米
  • 12篇光学
  • 11篇衍射
  • 9篇微细
  • 9篇微细加工
  • 8篇掩模
  • 8篇紫外光固化
  • 8篇光固化
  • 8篇光刻
  • 7篇透镜
  • 7篇微透镜
  • 7篇纳米压印
  • 7篇光学元件
  • 6篇衍射元件
  • 6篇光刻胶
  • 5篇掩模板
  • 5篇衍射光学
  • 5篇衍射光学元件
  • 5篇微透镜列阵
  • 5篇相位调制

机构

  • 49篇中国科学院
  • 2篇电子科技大学
  • 2篇中国科学院重...
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇西南交通大学

作者

  • 49篇张满
  • 42篇邓启凌
  • 40篇史立芳
  • 37篇曹阿秀
  • 32篇庞辉
  • 13篇胡松
  • 12篇王佳舟
  • 7篇杨勇
  • 7篇李志炜
  • 5篇刘鑫
  • 4篇邱传凯
  • 3篇赵立新
  • 2篇唐勇
  • 2篇陈磊
  • 2篇邱琪
  • 2篇杜春雷
  • 2篇付小芳
  • 2篇唐燕
  • 2篇邓钦元
  • 2篇周毅

传媒

  • 5篇光子学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇应用激光
  • 1篇光电工程
  • 1篇2013‘全...

年份

  • 2篇2020
  • 7篇2019
  • 3篇2018
  • 11篇2017
  • 9篇2016
  • 11篇2015
  • 3篇2014
  • 3篇2013
共 49 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于紫外压印的微纳加工平台及其应用
摩尔定律一直被认为是半导体行业发展的金科玉律,而要让摩尔定律一直有效的关键是不断提高光刻分辨力.众所周知,从投影式光刻机的分辨力公式Resolution=k1λ/N-A可以看出,提高分辨力的途径是降低工艺因子、缩短曝光波...
杨勇张满赵立新胡松
一种纳米金属球碗阵列结构的制备方法
本发明涉及一种金属纳米球碗阵列结构的制备方法，包括如下步骤：1）对基片进行亲水性处理；2）选择直径大小均匀一致的纳米球乳胶溶液，利用旋涂法或提拉法在步骤1）中经过亲水性处理的基片上自组装单层紧密排列的纳米球阵列；3）在步...
史立芳张满邓启凌胡松秦燕云曹阿秀夏良平
文献传递
一种基于模板诱导龟裂效应的纳流道制备方法
本发明涉及一种基于模板诱导龟裂效应的纳流道制备方法，属于微纳米结构加工和生物化学领域，按照目标纳流道的分布，设计加工具有纳米微尖的图案化结构作为诱导模板；选择抛光的基片作为纳流道的基底层，在其表面涂覆一层高体积收缩率的高...
邓启凌张满史立芳秦燕云曹阿秀庞辉
文献传递
一种双面可穿戴的摩擦纳米发电机及其制备方法
本发明提供了一种双面可穿戴的摩擦纳米发电机及其制备方法，该摩擦纳米发电机包括：依次层叠分布的第一个高分子聚合物薄膜层，摩擦电极层以及第二个高分子聚合物摩擦薄膜层，人体作为第二电极，与大地相连接，两层摩擦薄膜都是由柔性的高...
张满邓启凌史立芳秦燕云曹阿秀庞辉
一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法
本发明涉及一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，包括如下步骤：1）对表面含有浮雕微纳米结构的原始母板进行表面防粘处理；2）将巯基-烯材料均匀涂覆在步骤1）中的经过防粘处理的原始母板；3）将一块透明的弹性胶质材料覆盖在步...
邓启凌张满史立芳胡松秦燕云曹阿秀
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一种产生多线条结构光的光学系统
本发明公开了一种产生多线条结构光的光学系统，包括一个激光器，一个聚焦镜，一个线条产生器和一个衍射元件。所述激光器发出准直高斯光，所述聚焦镜作用是根据需求调整聚焦镜与激光器的距离使光在工作区聚焦产生所需结构光，所述线条产生...
邓启凌王广逸史立芳庞辉张满王佳舟曹阿秀
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一种牺牲模板制备高深宽比聚合物纳米柱阵列的方法
本发明涉及一种牺牲模板制备高深宽比聚合物纳米柱阵列的方法，属于微纳米结构加工领域，该制作方法以可腐蚀的纳米孔阵列结构为模板；利用涂覆工艺将聚合物材料涂覆在模板表面，调节聚合物材料的粘度和杨氏模量，既可以克服纳米孔的表面张...
邓启凌张满史立芳秦燕云曹阿秀庞辉
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一种双面对准成形裸眼三维显示薄膜器件的方法
本发明公开了一种双面对准成形裸眼三维显示薄膜器件的方法，涉及微细加工，图像显示等领域。该方法主要步骤为：(1)实现成像结构柔性压印模板的制备；(2)根据三维显示薄膜器件要求选择基材；(3)在基材表面旋涂一层压印胶，将压印...
曹阿秀史立芳邓启凌张满庞辉
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一种用于光学曝光的高分辨率柔性复合掩模板及其制备方法
本发明提供一种用于光学曝光的高分辨率柔性复合掩模板及其制备方法，该柔性复合掩模板由柔性高分子聚合物缓冲层(1)、高杨氏模量的高分子聚合物结构层(2)、金属掩蔽层(3)三层结构组成。缓冲层的低杨氏模量可保证复合模板的可弯曲...
邓启凌刘鑫张满秦燕云史立芳曹阿秀
一种基于微纳结构的柔性裸眼三维显示薄膜器件
本发明公开了一种基于微纳结构的柔性裸眼三维显示薄膜器件，该器件包含三层结构，分别为微透镜层、柔性基材和微图像层，三层结构参数相互匹配，实现可供多人同时观看的高分辨三维物体立体显示效果。该器件轻量化、易于卷曲、便于携带，应...
曹阿秀史立芳邓启凌张满庞辉
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