谭艾英
- 作品数：8 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院重庆绿色智能技术研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 基于棱镜反射光栅的低串扰自由立体投影显示方法被引量：2
- 2019年
- 为解决传统柱透镜自由立体投影显示中像差和视几何引起的串扰和视点数受限问题,基于回归反射,提出了一种棱镜反射光栅自由立体投影显示方法。通过分析其3D成像的原理,对棱镜反射光栅自由立体投影显示进行仿真,发现该方法在水平视宽相同的条件下,视场照度是柱透镜光栅投影的10倍,而其串扰比是柱透镜光栅投影的1/5,且不存在次视区。制作了棱镜反射光栅屏,并搭建系统进行实验,验证了棱镜反射光栅自由立体投影显示方案的可行性。
- 谭艾英尹韶云夏厚胤江海波陈建军杨若夫
- 关键词：多视点
- 基于UVLED光源的平行光曝光设备开发及应用
- 尹韶云杨若夫江海波孙秀辉蔡文涛谭艾英杨正杜春雷
- 平行光曝光机是应用于半导体器件、印刷电路板、触摸屏、液晶面板等产品制造的一种光刻设备，平行光曝光机采用高压汞灯作为光源，紫外LED光束变换理论与设计方法以及低成本紫外光学器件制造技术，将紫外LED用于平行光曝光机存在较大...
- 关键词：
- 关键词：光刻设备
- 一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机
- 本实用新型公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置，包括滑动基板，滑动基板上固定有LED光源模块，两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合；目标面所需的光照面X...
- 谭艾英杨若夫孙秀辉尹韶云蔡文涛陈建军
- 文献传递
- 高均匀度的紫外LED曝光头
- 本实用新型公开了一种高均匀度的紫外LED曝光头，包括紫外LED光源模组1、第一蝇眼透镜匀化系统2、第一准直场镜系统3、第二蝇眼透镜匀化系统4和第二准直场镜系统5，所述紫外LED光源模组发出的光束依次经过第一蝇眼透镜匀化系...
- 尹韶云孙秀辉董燕周维超吴鹏蔡文涛谭艾英杜春雷
- 文献传递
- 一种UVLED曝光光源强度稳定装置
- 本实用新型公开了一种UVLED曝光光源强度稳定装置，包括反馈调节模块、信号处理及采集模块、探测器模块、UVLED光源模块和供电与控制模块；探测器模块用于将UVLED光源的强度信息转换成电信息；信号处理及采集模块的输入端与...
- 谭艾英尹韶云杨若夫蔡文涛孙秀辉
- 文献传递
- 一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机
- 本发明公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置，包括滑动基板，滑动基板上固定有LED光源模块，两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合；目标面所需的光照面X方向...
- 谭艾英杨若夫孙秀辉尹韶云蔡文涛陈建军
- 文献传递
- 一种大面积UVLED阵列用高效散热装置
- 本实用新型公开了一种大面积UVLED阵列用高效散热装置，包括盖板(2)、铜冷排(5)和热电分离铜基板(6)；所述热电分离铜基板的一面用于焊接UVLED灯珠，UVLED灯珠的热盘与铜基板通过焊锡直接连接，无PCB绝缘层，能...
- 谭艾英尹韶云杨若夫蔡文涛孙秀辉
- 文献传递
- 多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计
- 2018年
- 提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合放大的方法,大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性,使每一测量单点测量重复性控制在0.02mW/cm2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验,结果表明,多点测量一致性小于0.1mW/cm2,且检测的照度均匀性符合要求。
- 赵可为谭艾英尹韶云蔡文涛杨若夫陈建军佟首峰
- 关键词：照度均匀度多点测量光刻技术光刻机实时检测
