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贾瑾

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇对准标记
  • 1篇套刻
  • 1篇微电感
  • 1篇金属
  • 1篇过载
  • 1篇过载能力

机构

  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇徐立新
  • 1篇李建华
  • 1篇李月
  • 1篇卢冲赢
  • 1篇包艳萍
  • 1篇贾瑾
  • 1篇李慧娟
  • 1篇郭旭红
  • 1篇武浩
  • 1篇付博
  • 1篇韩琦

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种抗过载非硅MEMS厚金属悬空微电感
本发明公开了一种抗过载非硅MEMS厚金属悬空微电感。MEMS悬空微电感的悬空高度为20μm，悬空金属螺旋线圈金属层厚度为20μm，在悬空金属螺旋线圈和基片之间增加了支撑柱来改善线圈的抗过载能力，支撑柱布置于线圈对角线位置...
李建华徐立新付博卢冲赢韩琦郭旭红陈和峰包艳萍李慧娟武浩贾瑾李月
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