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连建设

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳飞机工业（集团）有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇压强
  • 1篇气体压强
  • 1篇脉冲
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光沉积
  • 1篇脉冲激光沉积...
  • 1篇脉冲激光器
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇P型
  • 1篇P型ZNO
  • 1篇P型ZNO薄...
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 1篇沈阳飞机工业...

作者

  • 1篇韩培培
  • 1篇王丽
  • 1篇连建设

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
脉冲激光沉积法制备Al-N共掺杂P型ZnO薄膜
本发明公开了一种脉冲激光沉积法制备Al-N共掺杂P型ZnO薄膜，方法如下：1）靶材的选择：采用Al-Zn靶，其中Al含量为2.5wt.%~3.5wt.%；2）石英玻璃衬底的清洗；3）抽真空：将清洗后的石英玻璃片放入沉积室...
韩培培王丽权纯逸连建设
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