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张莉瑶

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 3篇刷洗
  • 3篇装载装置
  • 3篇组件
  • 3篇晶圆
  • 3篇干燥装置
  • 2篇机械手
  • 1篇晶圆清洗

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇徐海滨
  • 3篇路新春
  • 3篇许振杰
  • 3篇沈攀
  • 3篇雒建斌
  • 3篇何永勇
  • 3篇裴召辉
  • 3篇郭振宇
  • 3篇张莉瑶
  • 3篇王同庆

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
化学机械抛光设备
本发明公开了一种化学机械抛光设备。所述化学机械抛光设备包括：用于存放晶圆的晶盒装载装置；用于放置晶圆的晶圆过渡装置；第一机械手；化学机械抛光机；晶圆清洗装置，晶圆清洗装置包括具有第一容纳腔的第一本体、设在第一容纳腔内第一...
路新春何永勇沈攀许振杰王同庆裴召辉徐海滨张莉瑶郭振宇雒建斌
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化学机械抛光设备
本发明公开了一种化学机械抛光设备。所述化学机械抛光设备包括：用于存放晶圆的晶盒装载装置；用于输送晶圆的晶圆转移装置；第一机械手；化学机械抛光机；用于放置晶圆的晶圆过渡装置；第二机械手；晶圆清洗装置，晶圆清洗装置包括具有第...
路新春何永勇沈攀许振杰王同庆裴召辉徐海滨张莉瑶郭振宇雒建斌
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化学机械抛光设备
本发明公开了一种化学机械抛光设备。所述化学机械抛光设备包括：用于存放晶圆的晶盒装载装置；用于输送晶圆的晶圆转移装置；第一机械手；化学机械抛光机；用于放置晶圆的晶圆过渡装置；第二机械手；晶圆清洗装置，晶圆清洗装置包括具有第...
路新春何永勇沈攀许振杰王同庆裴召辉徐海滨张莉瑶郭振宇雒建斌
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