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侯煜

作品数：8 被引量：1H指数：1
供职机构：长春理工大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 6篇激光
  • 6篇激光干涉
  • 6篇光刻
  • 5篇激光干涉光刻
  • 5篇干涉光刻
  • 3篇纳米光刻
  • 3篇光刻技术
  • 2篇电压
  • 2篇探针
  • 2篇特征尺寸
  • 2篇细胞
  • 2篇相干
  • 2篇相移
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米生物
  • 2篇纳米生物技术
  • 2篇控制模块
  • 2篇光学
  • 2篇光学元器件
  • 2篇过滤膜

机构

  • 8篇长春理工大学

作者

  • 8篇王作斌
  • 8篇胡贞
  • 8篇翁占坤
  • 8篇侯煜
  • 7篇刘兰娇
  • 7篇宋正勋
  • 6篇刘洋
  • 5篇徐佳
  • 3篇潘海艳
  • 2篇赵乐
  • 2篇曲英敏
  • 2篇张薇
  • 2篇李景梅
  • 2篇宋浩
  • 2篇于淼
  • 2篇许红梅
  • 2篇刘劲芸
  • 2篇李文君
  • 2篇王国梁

传媒

  • 1篇中国科技论文

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种在激光干涉光刻中实现相移的方法和系统
本发明公开了一种采用移相定位系统在激光干涉纳米光刻中移相的方法。其特征在于在两光束或多光束激光干涉光刻中，将两束或多束相干激光光束组合，发生干涉，通过控制一个或多个移相定位系统使光路的光程发生改变，实现干涉图形的相位移动...
王作斌张薇徐佳刘兰娇侯煜潘海艳宋浩刘洋翁占坤宋正勋胡贞
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多光束半导体激光干涉纳米光刻技术及系统
半导体激光干涉纳米光刻技术及系统的原理是：利用半导体脉冲激光，通过分束得到所需的两束或多束相干光，这些相干光经过耦合、扩束、整形，利用干涉场中光强的重新分布在材料表面形成周期性干涉图样。利用该系统进行光刻时，可以无需掩模...
徐佳王作斌翁占坤宋正勋胡贞刘兰娇侯煜潘海艳
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一种在激光干涉光刻中实现相移的方法和系统
本发明公开了一种采用移相定位系统在激光干涉纳米光刻中移相的方法。其特征在于在两光束或多光束激光干涉光刻中，将两束或多束相干激光光束组合，发生干涉，通过控制一个或多个移相定位系统使光路的光程发生改变，实现干涉图形的相位移动...
张薇王作斌徐佳刘兰娇侯煜潘海艳宋浩刘洋翁占坤宋正勋胡贞
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激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法
本发明公开了一种采用激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法和系统，利用光的干涉特性，不同的曝光方法会产生不同孔径、孔间间距的图形。通过特定的光束组合方式，来调控干涉场内的光强度分布，用调制后重新分布的激光能量烧蚀被加工...
刘洋王作斌赵乐刘兰娇徐佳侯煜翁占坤宋正勋胡贞
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应用于大面积光刻的激光图案检测系统被引量：1
2015年
基于激光干涉光刻的基本原理,设计了新型的可应用于大面积光刻的激光图案检测系统,并阐述了利用电荷耦合元件对光刻图案的CMOS实时检测及实现大面积光刻的方法。实验结果表明,使用激光干涉光刻技术可以产生大面积的亚微米级周期性图案。该方法提供了得到高分辨、无限焦深、大面积光刻的可能性。
侯煜胡贞王作斌翁占坤
关键词：激光干涉光刻
生理环境下细胞磁力显微操纵方法和系统
本发明公开了一种生理环境下细胞磁力显微操纵方法和系统。生理环境下细胞磁力显微操纵的系统是将由磁性探针、探针纳米偏移检测模块、三维位移平台、倒置/正置光学显微镜、磁性探针控制模块及位移控制模块组成的系统置于精密控制的适合细...
曲英敏王作斌刘劲芸侯煜刘洋王国梁李文君翁占坤李景梅宋正勋胡贞许红梅于淼刘兰娇
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激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法和系统
本发明公开了一种采用激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法和系统，本系统利用激光干涉光刻技术不同的曝光方法会产生不同间距的图形。通过特定的光束组合方式，来调控干涉场内的光强度分布，用调制后重新分布的激光能量烧蚀被加工材...
刘洋王作斌赵乐刘兰娇徐佳侯煜翁占坤宋正勋胡贞
生理环境下细胞磁力显微操纵方法和系统
本发明公开了一种生理环境下细胞磁力显微操纵方法和系统。生理环境下细胞磁力显微操纵的系统是将由磁性探针、探针纳米偏移检测模块、三维位移平台、倒置/正置光学显微镜、磁性探针控制模块及位移控制模块组成的系统置于精密控制的适合细...
曲英敏王作斌刘劲芸侯煜刘洋王国梁李文君翁占坤李景梅宋正勋胡贞许红梅于淼刘兰娇
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