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胡英杰

作品数:7 被引量:5H指数:1
供职机构:西安交通大学更多>>
发文基金:中央高校基本科研业务费专项资金陕西省科学技术研究发展计划项目国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域:文化科学自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇文化科学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇谐振
  • 6篇电流
  • 6篇正弦交变电流
  • 6篇芯片
  • 6篇交变电流
  • 4篇导线
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 4篇传感器芯片
  • 4篇磁感线
  • 4篇磁感线方向
  • 2篇电磁检测
  • 2篇品质因子
  • 2篇谐振梁
  • 2篇流体
  • 2篇流体密度
  • 1篇黏度
  • 1篇微悬臂
  • 1篇微悬臂梁

机构

  • 7篇西安交通大学
  • 1篇新疆交通职业...

作者

  • 7篇赵玉龙
  • 7篇赵立波
  • 7篇蒋庄德
  • 7篇胡英杰
  • 6篇李支康
  • 6篇黄琳雅
  • 2篇蒋维乐
  • 2篇苑国英
  • 2篇王久洪
  • 1篇王同东

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 3篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2015
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子,沿硅基底长度方向的两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用于提供恒定磁场,磁感线方向垂直于芯片...
赵立波胡英杰黄琳雅李支康赵玉龙蒋庄德
文献传递
微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器被引量:5
2015年
文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理,采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感器芯片,芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统,在室温环境20℃和25℃2个温度点下进行了4种有机流体的黏度测量。实验结果表明,微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器具有响应速度快、微型化程度高、易于实现在线流体测量等特点,黏度的测量精度优于8%,较好地满足了流体黏度的工程测量需求。
热合曼.艾比布力胡英杰王同东赵立波赵玉龙蒋庄德
关键词:MEMS黏度微悬臂梁谐振
一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子,沿硅基底长度方向的两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用于提供恒定磁场,磁感线方向垂直于芯片...
赵立波胡英杰黄琳雅李支康赵玉龙蒋庄德
一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底和硅微谐振梁结构,其中硅微谐振梁结构包括中间的振子以及振子两侧的弹性连接梁和弹性固支梁,振子每侧两根相互垂直的连接梁组成T型梁结构,振子及其两...
赵立波黄琳雅蒋维乐胡英杰王久洪李支康苑国英赵玉龙蒋庄德
一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子,两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用于提供恒定磁场,磁感线方向垂直于芯片平面,将其中一根导...
赵立波黄琳雅胡英杰李支康赵玉龙蒋庄德
一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底和硅微谐振梁结构,其中硅微谐振梁结构包括中间的振子以及振子两侧的弹性连接梁和弹性固支梁,振子每侧两根相互垂直的连接梁组成T型梁结构,振子及其两...
赵立波黄琳雅蒋维乐胡英杰王久洪李支康苑国英赵玉龙蒋庄德
文献传递
一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子,两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用于提供恒定磁场,磁感线方向垂直于芯片平面,将其中一根导...
赵立波黄琳雅胡英杰李支康赵玉龙蒋庄德
文献传递
共1页<1>
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