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胡英杰
作品数:
7
被引量:5
H指数:1
供职机构:
西安交通大学
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合作作者
蒋庄德
西安交通大学机械工程学院机械制...
赵立波
西安交通大学机械工程学院机械制...
赵玉龙
西安交通大学机械工程学院机械制...
黄琳雅
西安交通大学
李支康
西安交通大学
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作者
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赵立波
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蒋庄德
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胡英杰
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一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子,沿硅基底长度方向的两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用于提供恒定磁场,磁感线方向垂直于芯片...
赵立波
胡英杰
黄琳雅
李支康
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文献传递
微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器
被引量:5
2015年
文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理,采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感器芯片,芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统,在室温环境20℃和25℃2个温度点下进行了4种有机流体的黏度测量。实验结果表明,微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器具有响应速度快、微型化程度高、易于实现在线流体测量等特点,黏度的测量精度优于8%,较好地满足了流体黏度的工程测量需求。
热合曼.艾比布力
胡英杰
王同东
赵立波
赵玉龙
蒋庄德
关键词:
MEMS
黏度
微悬臂梁
谐振
一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子,沿硅基底长度方向的两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用于提供恒定磁场,磁感线方向垂直于芯片...
赵立波
胡英杰
黄琳雅
李支康
赵玉龙
蒋庄德
一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底和硅微谐振梁结构,其中硅微谐振梁结构包括中间的振子以及振子两侧的弹性连接梁和弹性固支梁,振子每侧两根相互垂直的连接梁组成T型梁结构,振子及其两...
赵立波
黄琳雅
蒋维乐
胡英杰
王久洪
李支康
苑国英
赵玉龙
蒋庄德
一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子,两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用于提供恒定磁场,磁感线方向垂直于芯片平面,将其中一根导...
赵立波
黄琳雅
胡英杰
李支康
赵玉龙
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一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底和硅微谐振梁结构,其中硅微谐振梁结构包括中间的振子以及振子两侧的弹性连接梁和弹性固支梁,振子每侧两根相互垂直的连接梁组成T型梁结构,振子及其两...
赵立波
黄琳雅
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胡英杰
王久洪
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苑国英
赵玉龙
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一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法,包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子,两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用于提供恒定磁场,磁感线方向垂直于芯片平面,将其中一根导...
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