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张晓强

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇残余应力
  • 4篇游标
  • 4篇偏转
  • 4篇偏转角
  • 3篇电热
  • 3篇微机
  • 3篇计算方法
  • 3篇测量方法
  • 2篇电测
  • 2篇叠合
  • 2篇直径
  • 2篇顺时针
  • 2篇曲率
  • 2篇热驱动
  • 2篇分辨率
  • 2篇高分辨率
  • 1篇多层薄膜材料
  • 1篇右边
  • 1篇热学参数
  • 1篇左边

机构

  • 11篇东南大学

作者

  • 11篇张晓强
  • 10篇李伟华
  • 10篇周再发
  • 10篇王雷
  • 8篇孙超
  • 6篇张璐
  • 4篇刘海韵

年份

  • 2篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
  • 5篇2013
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率测试结构
本发明提出了一种微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率测试结构，测量单元由左右两个相对放置的双层薄膜门型结构和测差游标组成，测差游标由左右两部分组成，双层薄膜门型结构由锚区和两根直梁组成，双层薄膜门型结构由上下两层薄膜材料叠合而...
李伟华王雷张晓强张璐周再发孙超
文献传递
MEMS薄膜材料热学参数测试结构研究
微电子机械系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)是在微电子制造技术的基础上发展起来的新型器件，具有广阔的应用前景。MEMS器件在加工过程中，其结构材料的物理特性常常受到加工工艺的...
张晓强
关键词：微电子机械系统热学参数版图设计
文献传递
一种微机电双向偏转指针
本发明提供了一种用于测量微机电结构偏转角的双向指针结构。微机电双向偏转指针由四个部分组成：一维双向移动测量游标尺；偏转指针；双向移动电热执行器；连接一维双向移动测量游标尺和双向移动电热执行器的水平直梁，以及连接偏转指针与...
李伟华王雷张晓强周再发刘海韵孙超
文献传递
双层薄膜残余应力测试结构
本发明提出了一种双层薄膜材料残余应力的测试结构，其中测量单元为圆柱支撑的第一层薄膜圆盘结构，在第一层薄膜圆盘平面上覆盖有另一层薄膜材料形成双层薄膜圆盘结构，在第一层薄膜圆盘边缘直径方向上延伸出一个直梁，直梁末端有一投影游...
李伟华王雷张晓强周再发刘海韵孙超
文献传递
高分辨率微机电测微游标尺
本发明涉及一种用于测量微机电结构微小几何尺寸变化量和（或）移动量的高分辨率测微游标尺结构，该高分辨率测微游标尺结构包括：一维移动测量游标尺、用于移动量放大的杠杆机构和相对型电热执行器。该装置利用电流产生热驱动方式移动测试...
李伟华王雷张晓强张璐周再发
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微机电结构偏转角测量游标尺
本发明公开了一种用于测量微机电结构偏转角度的游标尺结构，该结构既可以测量顺时针偏转角，也可以测量逆时针偏转角。微机电结构偏转角测量游标尺由一维移动测量游标尺；偏转指针板；相对型电热执行器；连接一维移动测量游标尺和相对型电...
李伟华王雷张晓强张璐周再发孙超
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一种微机电双向偏转指针
本发明提供了一种用于测量微机电结构偏转角的双向指针结构。微机电双向偏转指针由四个部分组成：一维双向移动测量游标尺；偏转指针；双向移动电热执行器；连接一维双向移动测量游标尺和双向移动电热执行器的水平直梁，以及连接偏转指针与...
李伟华王雷张晓强周再发刘海韵孙超
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微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率测试结构
本发明提出了一种微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率测试结构，测量单元由左右两个相对放置的双层薄膜门型结构和测差游标组成，测差游标由左右两部分组成，双层薄膜门型结构由锚区和两根直梁组成，双层薄膜门型结构由上下两层薄膜材料叠合而...
李伟华王雷张晓强张璐周再发孙超
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双层薄膜残余应力测试结构
本发明提出了一种双层薄膜材料残余应力的测试结构，其中测量单元为圆柱支撑的第一层薄膜圆盘结构，在第一层薄膜圆盘平面上覆盖有另一层薄膜材料形成双层薄膜圆盘结构，在第一层薄膜圆盘边缘直径方向上延伸出一个直梁，直梁末端有一投影游...
李伟华王雷张晓强周再发刘海韵孙超
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高分辨率微机电测微游标尺
本发明涉及一种用于测量微机电结构微小几何尺寸变化量和（或）移动量的高分辨率测微游标尺结构，该高分辨率测微游标尺结构包括：一维移动测量游标尺、用于移动量放大的杠杆机构和相对型电热执行器。该装置利用电流产生热驱动方式移动测试...
李伟华王雷张晓强张璐周再发
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