王强
- 作品数：9 被引量：9H指数：2
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜
- 2016年
- 微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs的响应时间和1.191kHz的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。
- 马文英魏耀华汪为民王强
- 关键词：微光机电系统旋转角
- 一种用于原边电流采样的自适应前沿消隐电路
- 2020年
- 提出了一种用于原边反馈反激变换器的自适应前沿消隐电路。根据不同的原边峰值电流产生自适应的前沿消隐时间信号,使消隐时间可以跟随原边峰值电流变化。一方面,该自适应前沿消隐电路能使原边电流信息采样更准确,避免开关管导通时的高频尖峰引起误采样。另一方面,产生的自适应前沿消隐时间可以减小电流采样电路的轻载静态功耗。仿真结果表明,前沿消隐时间误差最小低至1.5%,在不同工艺角下最大误差为5%左右。
- 王强罗萍邓成达张辽唐天缘
- 关键词：电流采样自适应反激变换器
- 3500MHz陶瓷基新型带通滤波器的设计被引量：2
- 2014年
- 针对传统发夹型滤波器选择性和带外抑制不足等问题，于二分之一波长U形发夹型谐振器基础上，提出E形谐振器结构，并基于新型谐振器构成带通滤波器。利用仿真软件HFSS13．0设计实例，基板材料为MgTiO3陶瓷（εs=18，tanδ=0．00007，基板厚度为0．8mm），抽头馈线采用渐变阻抗馈电方式。新型带通滤波器仿真结果如下：中心频率为3．5GHz，相对带宽为8％，带内插损小于0．03dB，阻带抑制大于20dB，基本满足3.36～3．64GHz的通讯要求。
- 王强唐斌李皓钟朝位
- 关键词：结构参数频率响应HFSS仿真带通滤波器
- MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究
- 2015年
- 为研究MEMS静电驱动器的场电子发射效应,设计并加工了排斥驱动器和平行板驱动器两种不同结构的静电驱动器,实验测试了电极间漏电流随驱动电压的变化关系,验证了其满足场发射效应的FN理论公式,从而首次观察到静电排斥驱动器的场致电子发射效应。根据测试结果计算得到了所设计的两种MEMS静电驱动器的名义发射面积和场增强因子。由于器件自身的结构设计特征,平行板驱动器相对于排斥驱动器具有更大的名义发射面积和更小的场增强因子。
- 汪为民王强邱传凯陈泽祥范斌
- 关键词：MEMS场致电子发射可靠性
- 基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析被引量：1
- 2015年
- 静电平行板驱动器是基于静电驱动的MEMS变形镜的关键部件,其静态及动态性能对MEMS变形镜有重要影响。设计并利用表面硅工艺加工制作了三种基于不同弹性系数的静电平行板驱动器的MEMS变形镜,分别采用解析公式和有限元仿真方法分析了弹性系数对变形镜的三项性能参数即行程、吸合电压和固有频率的影响,并利用白光表面轮廓仪进行实验测试,验证了理论和仿真结果的有效性。实验结果表明三种变形镜中半圆环梁驱动器变形镜具有适中的吸合电压和较大的行程,最适合于自适应光学系统的应用需求。
- 汪为民王强邱传凯陈泽祥范斌
- 关键词：MEMS变形镜
- 一种防倾斜MEMS平行板静电执行器（英文）被引量：1
- 2016年
- 首先简短地叙述了双端固支平行板静电执行器存在的倾斜问题,该问题会降低其可靠性并且减少其行程,从而限制它的应用范围。为了克服这个问题和提升该类执行器的性能,提出了一种新型的防倾斜MEMS平行板静电执行器结构,在实现防倾斜作用的同时获得了较大的行程。设计时对上极板的对称S型梁结构和分离的下电极结构进行了理论计算和仿真分析。基于商业表面微细加工工艺PolyMUMPs加工了样品并利用白光干涉仪进行了实验测试。该执行器可得到1.92μm的行程且不会发生倾斜,特别适合应用于微变形镜器件。
- 王强汪为民邱传凯于军胜
- 关键词：执行器静电平行板
- VLSI工艺中BPSG薄膜的研究被引量：3
- 2005年
- BPSG(硼磷硅玻璃)薄膜作为一种重要的层间介质,在半导体集成电路中广泛使用。常压化学气相沉积的BPSG薄膜中B、P含量(质量分数)对BPSG的性能有着显著影响。以WJ—999R机台为基础,详细研究了B、P含量的变化对对BPSG薄膜的沉积率、蚀刻率及其对回流效果的影响。研究发现:沉积率随着B含量的增加而增加;当P含量由0至1%时沉积率突然降低,随后随P含量的增加无显著变化。蚀刻率则随B含量的增加而降低,随P含量的增加而增加。B含量对回流效果的影响显著强于P含量的影响,每增加1%的B,玻璃软化温度降低约40℃。过高过低的B、P含量会产生异常,在3%B,5%P含量下BPSG薄膜有着优良的性能。
- 王强姜斌邓宏李如东
- 关键词：半导体技术常压化学气相沉积
- 自组装静电驱动微机电系统倾斜镜(英文)被引量：1
- 2015年
- 研制了一种基于自组装技术的静电驱动微机电系统(MEMS)倾斜镜,并利用表面硅工艺PolyMUMPs制备了样品。倾斜镜主要由一个中心镜面,两个偏转梁和两个可实现自组装的复合悬臂梁组成。中心镜面离衬底的高度可通过增大金和多晶硅复合悬臂梁的残余应力梯度得到提升。热退火技术被用于提高金层的残余应力。器件结构利用有限元仿真软件进行了优化并通过实验进行了验证。经过200℃热退火后,倾斜镜的偏转角度可以达到3.6°。该倾斜镜可运用于微光机电系统。
- 王强汪为民邱传凯于军胜
- 关键词：微机电系统静电驱动自组装
- 一种动态调节前沿消隐电路被引量：1
- 2021年
- 基于原边反馈反激变换器结构,提出了一种适用于PWM、PFM调节模式的动态调节前沿消隐电路。首先,当系统工作在PWM或PFM模式时,分别检测输出电流信息和系统工作频率,产生动态调节的前沿消隐信号,避免了辅助绕组高频振荡导致的膝点电压误采样。其次,通过动态调节前沿消隐时间,减小了全负载范围内膝点采样电路的功耗。设计的原边峰值电流采样电路能获得输出电流信息和系统工作频率信息,避免了反激变换器工作条件变化时前沿消隐时间非线性调节导致的膝点电压误采样。基于0.18μm BCD工艺对电路进行设计。仿真结果表明,该电路产生的动态调节前沿消隐时间误差的最小值为4%。
- 邓成达罗萍唐天缘王强
- 关键词：反激变换器
