黄莉莉
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：南昌航空大学更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 入射能量对Au/Au(111)和Cu/Si(001)纳米薄膜生长初期影响的分子动力学模拟
- 纳米薄膜由于其具有独特的光学、电磁学以及催化等特性,在纳米光子学,电子工业和生物传感器,催化作用以及医学理疗等许多领域表现出了广泛的应用前景,因而对于纳米薄膜的研究成为近年来科学研究的热点之一。由于纳米薄膜的生长过程直接...
- 黄莉莉
- 关键词：分子动力学入射能量原子结构
- 文献传递
- 入射能量对Au/Au(111)薄膜生长影响的分子动力学模拟被引量：2
- 2014年
- 利用分子动力学模拟了Au原子在Au(111)表面低能沉积的动力学过程.采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过对沉积层原子结构的分析和薄膜表面粗糙度、层覆盖率的计算,研究了沉积粒子能量对薄膜质量的影响及其机制.结果表明:当入射能量Ein<25 eV时,沉积层和基体表层均呈现规则的单晶面心立方(111)表面的排列,沉积原子仅注入到基体最表面两层,随着入射能量的增加,薄膜表面粗糙度降低,薄膜越趋于层状生长,入射能量的增加有利于薄膜的成核和致密化;当Ein 25 eV时,沉积层表面原子结构出现了较为明显的晶界,沉积原子注入到基体表面第三层及以下,随着入射能量的增加,薄膜表面粗糙度增加,沉积层和基体表层原子排列越不规则,载能沉积会降低基体内部的稳定性,导致基体和薄膜内部缺陷的产生,降低薄膜质量.此外,当基体内部某层沉积原子数约等于该层总原子数的一半时,沉积原子将能穿过该层进入到基体内部更深层.
- 颜超黄莉莉何兴道
- 关键词：入射能量薄膜生长分子动力学
