万骏
- 作品数：7 被引量：1H指数：1
- 供职机构：南京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪
- 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线...
- 陈磊郑东晖张瑜朱文华胡芬李金鹏韩志刚万骏宋乐周舒陈宇琪谷晨风郑权
- 平行平晶光学非均匀性的绝对测量方法
- 本发明公开了一种平行平晶光学非均匀性的绝对测量方法。步骤为：对第一透射参考平晶工作面和待测平行平晶前表面进行一次干涉测量；在待测平行平晶后面放置反射参考平晶，对第一透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次干涉测量；对第一...
- 陈磊郑东晖曹慧周斌斌朱文华郑权万骏韩志刚
- 文献传递
- 高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪
- 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线...
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- 平行平晶光学非均匀性的绝对测量方法
- 本发明公开了一种平行平晶光学非均匀性的绝对测量方法。步骤为：对第一透射参考平晶工作面和待测平行平晶前表面进行一次干涉测量；在待测平行平晶后面放置反射参考平晶，对第一透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次干涉测量；对第一...
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- 光栅点衍射干涉法检测Φ400mm瞬态波前被引量：1
- 2015年
- 提出了一种基于光栅点衍射干涉原理的Φ400mm瞬态波前检测方法。该方法使用位相光栅在参考光与测试光中引入横向错位,即在干涉图中引入线性载频,然后利用傅里叶变换相位解调法提取待测波前。基于标量衍射理论以及傅里叶光学理论建立了瞬态波前检测方案的理论模型,推导了线性载频公式,研究了影响载频大小的因素;基于基尔霍夫公式分析了针孔衍射导致的孔径角变化与能量衰减效应,给出了位相光栅的刻蚀深度公式。实验搭建了Φ400mm瞬态波前检测装置,采集了对比度良好的高线性载频干涉图。采用傅里叶变换相位解调法恢复波面,所得波面RMS值为0.105λ。与采用SID-4波前探测器测得的波面RMS值(0.101λ)基本一致,满足了Φ400mm瞬态波前测量的要求。
- 李金鹏陈磊万骏朱文华郑东晖
- 关键词：光学测量
- 基于近红外反射式错位点衍射干涉仪的瞬态波前检测技术研究
- 点衍射干涉仪采用小孔衍射标准球面波作为参考波前，满足了高精度波前检测要求。点衍射干涉仪是共光路系统，参考光和测试光难以分离，移相困难，只能通过交互式的方法处理干涉图，不能满足自动化检测要求。为了测量瞬态近红外激光波前，提...
- 万骏
- 关键词：点衍射干涉仪自动化检测
- 近红外反射式错位点衍射干涉仪
- 2016年
- 为瞬态测量近红外激光波前,提出了一种斜入射结构的反射式错位点衍射干涉仪方案。将点衍射干涉仪集成在镀有特殊膜系的平板基片上,相干光波分别在平板前后表面反射产生错位,从而在传统点衍射干涉图中引入空间线性载频。采用傅里叶变换的方法处理单幅干涉图恢复待测波前,实现了近红外波前的自动化检测。实验测量了F/10、工作波长为1 313 nm的近红外激光波前,测量结果与Hartmann波前传感器一致。研究了用于针孔快速对准的成像对准技术。因此,采用该方案能够实现近红外波前的瞬态测量。
- 万骏陈磊朱文华李金鹏
- 关键词：光学测量点衍射干涉仪瞬态
