杨桂栓
- 作品数：12 被引量：43H指数：3
- 供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
- 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项郑州市科技局科技攻关项目河南省高校科技创新团队支持计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程文化科学更多>>
- 一种应用于背向式激光内刻微通道的吸附加工装置
- 一种应用于背向式激光内刻微通道的吸附加工装置，该装置包括底座、进气分气管、排气管连接器；待加工样品片的下表面完全覆盖住方形凹槽，使方形凹槽形成一密闭空间。下侧进气管道的中心管道处通入压缩空气，压缩空气一部分沿着管道排出，...
- 陈涛闫晓光郑崇杨桂栓
- 文献传递
- 248nm准分子激光无裂损加工玻璃微通道的研究
- 硬脆性材料玻璃作为微流控芯片的理想基底材料,但对其高质量、高效率的加工是目前的难题,利用248nm纳秒脉冲准分子激光所具有的波长短、单脉冲能量高、系统稳定的优点,研究248nm纳秒激光无裂损刻蚀玻璃的机理及工艺,将对具有...
- 杨桂栓
- 关键词：激光微加工准分子激光器微流控芯片
- 文献传递
- 一种准分子激光旋转刻蚀快速制作有机玻璃曲率可调微透镜的方法
- 一种准分子激光旋转刻蚀快速制作有机玻璃曲率可调微透镜的方法，属于微光学器件及激光先进制造技术领域。该加工系统主要由计算机、激光器、激光匀束器、掩膜及掩膜调换台、聚焦物镜、同轴观察系统、旋转台及微移动工作台组成，通过进行掩...
- 陈涛杨桂栓郑崇闫晓光
- 基于激光三角法对透明平板厚度测量光线补偿的研究及应用
- 提出了一种基于激光三角法光线折射补偿对透明平板厚度测量的方法，设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置，并应用于准分子激光投影光刻加工透明材料时的像面校准。首先构建了基于激光三角法测量情形下的偏折光线和透明平板位...
- 杨桂栓陈涛张志峰
- 关键词：激光三角法激光位移传感器
- 跨领域研究的识别、管理与评价研究被引量：1
- 2016年
- 跨领域研究已经从早期的重视技术本身的内推力,逐渐过渡到对"市场"、"公众影响"等因素的关注。"跨领域研究"的定义和概念是从事跨领域研究需要判断的首要问题。但目前对跨领域研究尚存在不明确的概念,特别是在如何平衡、协同各领域之间的关系方面,还存在缺乏客观评估方法和现代分析手段等问题。研究从多角度、全方位地探讨跨领域研究的内涵和外延,引导甄别跨领域研究,从而促进公众达成相对理性科学的观点。
- 陈虹黄斌杨桂栓
- 关键词：多样性均匀性
- 248nm准分子激光刻蚀的无裂损石英玻璃表面微通道被引量：9
- 2017年
- 利用248nm纳秒准分子激光,采用掩模投影和石英玻璃前表面直写刻蚀的方法,研究了激光脉冲能量密度、重复频率、扫描次数对微通道裂损的影响规律,分析了石英玻璃激光刻蚀及裂损的机理。结果表明,248nm纳秒准分子激光刻蚀石英玻璃的机理为光致电离及热烧蚀的共同作用;无裂损刻蚀JGS1型石英玻璃的激光能量密度阈值范围为16~30J·cm^(-2),刻蚀率可达每脉冲500nm;随着激光重复频率及扫描次数的增加,微通道容易因热积累及等离子体微爆炸冲击作用而裂损。基于优化的激光加工参数,当微通道宽度小于100μm时,可以实现无裂损的直线型(深度小于或等于50μm)及圆弧型(深度小于或等于28.5μm)微通道的加工。
- 杨桂栓陈涛陈虹
- 关键词：激光技术
- 基于激光三角法对透明平板厚度测量光线补偿的研究及应用被引量：22
- 2015年
- 提出了一种基于激光三角法光线折射补偿对透明平板厚度测量的方法,设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置,并应用于准分子激光投影光刻加工透明材料时的像面校准。首先构建了激光三角法测量情形下偏折光线和透明平板位置之间的关系,分析了散射光斑因折射发生的位置偏移量与平板厚度之间的关系,以及透明平板与散射基面的间距和散射基面位置的变化对测量结果产生的影响。然后设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置,实验验证了散射光斑偏移量和平板厚度之间的对应关系,测得了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)厚度测量的补偿系数为0.441。综合理论分析和实验验证,结果表明散射光斑偏移量与透明平板的厚度呈线性变化关系,透明平板与散射基面间距的大小对测量结果无影响,散射基面偏移量与传感器探头示数变化量相等。PMMA平板厚度测量的平均绝对误差小于0.01 mm,平均相对误差为0.6%,能够满足准分子激光(Kr F,248 nm)加工PMMA基生物芯片的精度要求。
- 杨桂栓陈涛张志峰
- 关键词：激光三角法激光位移传感器
- 248nm准分子激光刻蚀钠钙玻璃微通道低裂损工艺研究被引量：3
- 2017年
- 248nm准分子激光直接刻蚀钠钙玻璃微通道来制作生物芯片具有较大优势和潜力,但目前存在易发生碎裂、微通道底面处粗糙度高等问题。采用248nm准分子激光束以静态刻蚀及扫描直写刻蚀两种方式刻蚀钠钙玻璃来对低裂损工艺进行研究。首先通过实验研究了激光加工玻璃的工艺参数与玻璃微通道的刻蚀质量之间的关系,然后分析了248nm准分子激光刻蚀钠钙玻璃的裂损刻蚀机理,最后通过变换工艺参数来设计新的加工工艺流程以改善加工质量。实验结果表明,随着刻蚀处激光能量密度的增加,玻璃微通道的边缘裂损程度增大,并且刻蚀表面粗糙度增大,刻蚀质量下降;另外发现激光刻蚀后的粗糙表面可以增加玻璃材料对入射激光能量的吸收率,从而降低了激光刻蚀玻璃材料的阈值,较低的激光能量密度可降低刻蚀面的粗糙度。最后工艺流程改进实验,所加工的微通道质量得到改善,玻璃微通道边缘裂损尺寸小于5μm,底面粗糙度Ra值可降低至1.5μm,研究结果将对激光加工玻璃微结构的质量改善提供一定的参考。
- 杨桂栓陈虹陈涛
- 关键词：生物芯片
- 死区对四象限探测器探测范围和灵敏度影响的研究被引量：7
- 2013年
- 介绍了四象限探测器的工作原理及影响四象限探测系统精度的各种内外部因素,详细分析了四象限探测器死区对探测范围内探测灵敏度的影响。在探测范围内,对各个象限内高斯光斑接收的光功率进行计算,并用Matlab软件对归一化的目标光斑偏移量x随光斑中心坐标X的变化关系进行仿真,设计四象限探测系统的光路和电路,当死区宽度D=0.1mm时,调整光斑半径R大小分别为0.6mm和0.4mm下进行测量。理论及实验结果表明,死区宽度相对光斑半径的比例越大,光斑偏移量随光斑中心的变化趋势越陡峭,探测器的灵敏度越高。
- 杨桂栓张志峰翟玉生王才东郭莹莹杨红军白煌煌王新杰
- 关键词：光学器件四象限探测器死区
- 一种准分子激光旋转刻蚀快速制作有机玻璃曲率可调微透镜的方法
- 一种准分子激光旋转刻蚀快速制作有机玻璃曲率可调微透镜的方法，属于微光学器件及激光先进制造技术领域。该加工系统主要由计算机、激光器、激光匀束器、掩膜及掩膜调换台、聚焦物镜、同轴观察系统、旋转台及微移动工作台组成，通过进行掩...
- 陈涛杨桂栓郑崇闫晓光
- 文献传递
