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高明
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合作作者
王欢
北京东方计量测试研究所
杜艳君
北京东方计量测试研究所
张书锋
北京东方计量测试研究所
郭志颖
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电容薄膜规倾斜角度影响的研究
本文利用真空比对标准装置在压力1~100 Pa范围内对电容薄膜规倾斜角度测量校准室压力时带来的误差进行了研究。结果表明:压力误差随电容薄膜规倾斜角度增加而线性增加,但随校准室压力变化不明显。在校准室压力为1 Pa,电容薄...
张书锋
杜艳君
邱瑞源
郭志颖
王欢
高明
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真空测试
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