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李兵

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:北京航天工业总公司更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇遥测
  • 1篇力传感器
  • 1篇硅压阻
  • 1篇航天
  • 1篇航天应用
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇北京航天工业...

作者

  • 1篇穆建军
  • 1篇刘永刚
  • 1篇李兵

传媒

  • 1篇遥测遥控

年份

  • 1篇1998
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器
1998年
带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器在航天等许多领域应用很广。它的压力应变膜片是硅应变膜片,其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来,使传感器的精度高、可靠性好、稳定性好及动态性能好,不但用于普通气体及液体的压力测量,还可用于腐蚀性介质的压力测量。文中介绍其工作原理、结构、制造工艺及技术指标最后指出今后研究的工作重点。
刘永刚李兵穆建军
关键词:压力传感器遥测航天应用
共1页<1>
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