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李兵
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1
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供职机构:
北京航天工业总公司
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自动化与计算机技术
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合作作者
刘永刚
北京航天工业总公司
穆建军
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作者
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穆建军
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刘永刚
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李兵
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年份
1篇
1998
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带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器
1998年
带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器在航天等许多领域应用很广。它的压力应变膜片是硅应变膜片,其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来,使传感器的精度高、可靠性好、稳定性好及动态性能好,不但用于普通气体及液体的压力测量,还可用于腐蚀性介质的压力测量。文中介绍其工作原理、结构、制造工艺及技术指标最后指出今后研究的工作重点。
刘永刚
李兵
穆建军
关键词:
压力传感器
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