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张乾

作品数：25 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 25篇中文专利

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 10篇半导体
  • 7篇半导体工艺
  • 6篇温度补偿
  • 6篇温度补偿方法
  • 6篇炉体
  • 6篇功率
  • 6篇硅片
  • 6篇补偿方法
  • 5篇温度
  • 5篇加热器
  • 4篇电偶
  • 4篇抖动
  • 4篇温度传感器
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇电功
  • 3篇电功率
  • 3篇热电偶
  • 3篇接线

机构

  • 25篇北京七星华创...

作者

  • 25篇张乾
  • 14篇王艾
  • 10篇徐冬
  • 5篇王健
  • 4篇孙少东
  • 4篇周厉颖
  • 2篇王峰

年份

  • 2篇2017
  • 7篇2016
  • 3篇2015
  • 13篇2014
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
热处理设备的温度补偿方法、温度控制方法及系统
本发明公开了一种温度补偿方法，包括在硅片保持件上安装多个第二温度传感器；将硅片保持件搬入处理容器内，各第二温度传感器和处理容器内的多个第一温度传感器一一对应；控制加热器以第二温度传感器为控温对象调整处理容器内的温度，使第...
王艾徐冬张乾
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一种用于半导体热处理设备的温度控制等效方法
一种用于半导体热处理设备的温度等效控制方法，包括根据四种控温模式在稳定状态下的标准阈值，判断系统在预定时间内是否稳定；若稳定，在采样周期中连续采样四种控温热电偶测量值并将所得到的测量值分别计算平均值，得到采样周期中各控温...
徐冬王艾张乾
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一种水冷装置
本实用新型涉及冷却装置技术领域，尤其涉及一种水冷装置。该水冷装置包括进水装置和出水装置，所述进水装置内设有进水槽，所述出水装置内设有出水槽，还包括多个冷却水管，多个所述冷却水管均为直管状结构，其一端与进水槽连接，另一端与...
王健张乾
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一种分段式水冷装置
本实用新型涉及水冷装置技术领域，具体涉及了一种分段式水冷装置，包括集成进出水冷槽，所述集成进出水冷槽内设有进水槽和出水槽，还包括多个冷却水管，所述冷却水管分别安装在集成进出水冷槽上，使每个冷却水管上的进水口与进水槽连通，...
王健张乾
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半导体热处理设备的温控方法
本发明涉及一种半导体热处理设备的温控方法，半导体热处理设备包括炉体和设于炉体中的工艺管，晶圆在工艺管中进行半导体工艺，炉体包括多个温区，每一温区中设有至少一超温热偶和多个控温热偶，超温热偶用于感测温区中的温度，控温热偶用...
张乾王艾
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热处理设备的温度补偿方法、温度控制方法及系统
本发明公开了一种温度补偿方法，包括在硅片保持件上安装多个第二温度传感器；将硅片保持件搬入处理容器内，各第二温度传感器和处理容器内的多个第一温度传感器一一对应；控制加热器以第二温度传感器为控温对象调整处理容器内的温度，使第...
王艾徐冬张乾
一种用于半导体热处理设备的温度控制等效方法
一种用于半导体热处理设备的温度等效控制方法，包括根据四种控温模式在稳定状态下的标准阈值，判断系统在预定时间内是否稳定；若稳定，在采样周期中连续采样四种控温热电偶测量值并将所得到的测量值分别计算平均值，得到采样周期中各控温...
徐冬王艾张乾
一种热偶固定装置
本实用新型涉及热处理设备技术领域，尤其涉及一种热偶固定装置。该热偶固定装置包括基座和螺母，所述螺母套装于所述基座外，所述螺母的内侧还套装有定位座和套管，所述定位座与所述套管之间设有一个或多个密封圈。本实用新型的热偶固定装...
王健张乾
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一种烤炉体装置
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种烤炉体装置，箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于主路上，主路上设有供电连接端子，支路的端部分别设有一个输出接线端子，输出接线端子用于连接炉体的接入接线...
孙少东张乾周厉颖
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一种进风装置
本实用新型涉及热处理设备技术领域，尤其涉及一种进风装置。该进风装置的风盒的一侧与进风阀连接，另一侧与炉体的内壁密封连通，进风阀通过开关与控制机构连接。本实用新型的进风装置通过进风阀连接风机送风管道，将用于冷却炉体温度的风...
王健张乾
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