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王浩

作品数：38 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：医药卫生自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 38篇中文专利

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 9篇卡盘
  • 9篇硅片
  • 6篇气体
  • 6篇密封
  • 6篇卡爪
  • 6篇夹紧
  • 6篇薄片
  • 5篇旋转轴
  • 5篇清洗工艺
  • 5篇转轴
  • 4篇腔体
  • 3篇弹簧弹力
  • 3篇底面
  • 3篇电流方向
  • 3篇端面
  • 3篇端面密封
  • 3篇压力传感器
  • 3篇易清洗
  • 3篇油脂
  • 3篇真空管

机构

  • 38篇北京七星华创...

作者

  • 38篇王浩
  • 20篇李伟
  • 15篇姬丹丹
  • 14篇张豹
  • 12篇王波雷
  • 11篇吴仪
  • 6篇张享倩
  • 3篇刘效岩
  • 3篇初国超

年份

  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 8篇2015
  • 2篇2014
  • 16篇2013
  • 7篇2012
共 38 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种喷淋装置
本发明公开了一种喷淋装置，包括：喷淋头、旋转执行机构、升降执行机构和用于容纳喷淋药液的盛接槽，所述喷淋头通过旋转执行机构与升降执行机构连接。本发明的喷淋装置，可使整个清洗工艺过程连贯，减少制造成本、以及设备故障发生率并且...
王波雷吴仪李伟王浩张豹
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薄片盘状物清洗甩干器
本发明涉及集成电路加工工艺技术领域，具体公开了一种薄片盘状物清洗甩干器，包括：甩干装置，其上具有第一喷嘴、第二喷嘴和真空孔，分别与液体管、气体管和真空管连接；卡盘，设置在所述甩干装置的下方，能够与所述薄片盘状物一起旋转。...
凯里·雷王浩
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一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置及方法
本发明公开了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置及清洗方法，该装置由可旋转的卡盘主体及其边缘设置的至少两组夹持元件组成，夹持元件可以以其与卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，其底端与卡盘主体连接有径向的压缩弹簧；清洗时同组夹持...
吴仪王浩李伟王锐廷张豹
用于运动管件和固定平板连接处的密封装置
本发明涉及一种密封装置，公开了一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置。所述运动管件可相对固定平板旋转和/或上下滑动，该密封装置包括上轴套和下轴套，所述上轴套和下轴套分别套在所述运动管件的管壁上；下轴套下端与所述固定平...
王浩姬丹丹王锐廷
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雾化清洗装置和方法
本发明提供一种雾化清洗装置和方法，该雾化清洗装置包括冷却结构、谐振雾化结构和气动雾化结构，所述谐振雾化结构固定于所述气动雾化结构之上，所述冷却结构固定于所述谐振雾化结构之上，所述谐振雾化结构包括换能器和谐振器，所述谐振器...
刘效岩吴仪初国超王浩
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自调节夹紧装置
本实用新型公开了一种自调节夹紧装置，该装置包括夹持装置，数据接收装置，数据处理装置和驱动装置，所述数据接收装置接收夹持装置的压力值信号并传送给数据处理装置，通过数据处理装置的分析作出反馈，把反馈信号传递给驱动装置，所述夹...
王浩
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一种自清洗腔体
本发明涉及硅片清洗领域，尤其涉及一种自清洗腔体，其包括腔体，自清洗腔体的主体；喷水嘴，清洗时的出水口；排液口，用于排出清洗硅片和腔体时的液体。其中，喷水嘴安装在腔体外部，排液口在腔体下部。喷水嘴有上下两排，其上下位置面对...
张享倩王波雷姬丹丹李伟王浩
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晶片背面清洗装置
本实用新型提供一种晶片背面清洗装置包括晶片夹持部件、旋转轴、晶片清洗部件和固定轴。晶片夹持部件用于夹持待清洗晶片；旋转轴设置在所述晶片夹持部件下方并与所述晶片夹持部件固定连接；晶片清洗部件设置在待清洗晶片下方；固定轴设置...
李伟张豹吴仪王锐廷王浩
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一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置及方法
本发明公开了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置及清洗方法，该装置由可旋转的卡盘主体及其边缘设置的至少两组夹持元件组成，夹持元件可以以其与卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，其底端与卡盘主体连接有径向的压缩弹簧；清洗时同组夹持...
吴仪王浩李伟王锐廷张豹
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盘状物夹持装置
本发明公开了一种盘状物夹持装置，在基体的周缘设置多个支撑销，支撑销由行程变换机构驱动做升降运动，通过卡爪和支撑销相互配合，在取放盘状物时，支撑销做上升运动，远离卡盘，保证机械手末端执行器的取放片动作，在盘状物处于工艺状态...
王锐廷张豹姬丹丹王浩李伟
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