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王小艳
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吉林大学
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夏国海
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于永
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于爱华
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于永
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夏国海
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1篇
2015
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一种矩形波导微波等离子体源发生装置
本发明公开了一种矩形波导微波等离子体源发生装置,包括矩形波导谐振腔,载气模块,调节模块,光路模块,电路控制系统,维持气控制系统,样品载气控制系统。本发明提供了一种矩形波导微波等离子体源发生装置,激发能量可以从200瓦到数...
于永
王兴华
张寒琦
冯果栋
单洪岩
霍阳
赵振英
王小艳
于爱华
梁芳慧
霍德发
夏国海
于爱民
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