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汤善治

作品数:26 被引量:18H指数:3
供职机构:中国科学院高能物理研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域:机械工程电子电信金属学及工艺文化科学更多>>

文献类型

  • 21篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇机械工程
  • 4篇电子电信
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇建筑科学
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 10篇激光
  • 7篇光栅
  • 5篇外差
  • 5篇外差干涉
  • 5篇激光源
  • 5篇光源
  • 5篇反射镜
  • 5篇波片
  • 4篇偏振
  • 4篇解耦
  • 4篇激光束
  • 4篇光束
  • 3篇衍射
  • 3篇射线
  • 3篇双频激光
  • 3篇精密测量技术
  • 3篇棱镜
  • 3篇机床
  • 3篇激光干涉
  • 3篇光电

机构

  • 20篇中国科学院
  • 6篇西安交通大学
  • 2篇北京科技大学
  • 1篇中国科学院大...
  • 1篇北京纵横机电...

作者

  • 26篇汤善治
  • 19篇李明
  • 16篇盛伟繁
  • 5篇王昭
  • 5篇梁好
  • 4篇高建民
  • 4篇郭俊杰
  • 4篇张伟伟
  • 3篇韩庆夫
  • 3篇高立丹
  • 3篇钟丽红
  • 2篇王刚
  • 2篇赵屹东
  • 2篇张瑶
  • 1篇张久昶
  • 1篇吴忠华
  • 1篇蒋志雄
  • 1篇蒋志雄
  • 1篇默广
  • 1篇杨福桂

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇光子学报
  • 1篇西安交通大学...
  • 1篇电子测量与仪...

年份

  • 7篇2023
  • 3篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
26 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
组合式反射镜光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法
本发明公开一种组合式反射镜光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法,属于激光精密测量技术领域。该装置包括:激光源,用于提供激光束和参考信号,其中激光束包含频率不同且线偏振方向正交的第一偏振分量和第二偏振分量,参考信号的频率对应...
汤善治李明韩庆夫张伟伟盛伟繁
文献传递
基于KB镜纳米实验系统的高精度定位测量方法及装置
本发明公开了一种基于KB镜纳米实验系统的高精度定位测量方法及装置。本装置包括两独立的腔体和至少一套稳定性测量系统,稳定性测量系统包括一激光源、一稳定性测量组件、一目标光栅、一反射单元和信号处理单元;其中一腔体内设置纳米K...
于海涵汤善治何天廖瑞颖欧自娜周亮李明
一种基于阵列式多次反射的滚转角测量装置及方法
本发明公开了一种基于阵列式多次反射的滚转角测量装置及方法,该装置包括双频激光器、1/2波片和两套角锥棱镜阵列;在双频激光器的光轴后设置分光棱镜,分光棱镜的反射光轴上设第一检偏器和第一光电接收器;分光棱镜的透射光轴上设1/...
王昭汤善治高建民钟丽红郭俊杰
一种直驱式大行程精密转动平台
本发明涉及一种直驱式大行程精密转动平台,包括:基座;柔性铰链轴承,包括柔性铰链、驱动端、定子和动子,所述定子固定于基座上,所述驱动端连接于柔性铰链并伸出柔性铰链外;载物架,与所述动子固定连接,用于连接所述柔性铰链轴承和末...
张路梁好杨扬徐伟汤善治盛伟繁李明
一种用于同步辐射束线上的垂直反射白光镜冷却结构
本实用新型公开了一种用于同步辐射束线上的垂直反射白光镜冷却结构,其特征在于,包括光学元件硅晶体(1)、第一冷却结构(2)、第二冷却结构(3);将光学元件硅晶体(1)的上表面作为镜面,光学元件硅晶体(1)的上表面设有第一铟...
高立丹李明杨福桂汤善治盛伟繁
文献传递
一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法
本发明公开了一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法。本发明的冷却结构包括用于设置于反射镜体上下侧边的上‑冷却结构和下‑冷却结构;其中,上‑冷却结构包括凹槽、凸板冷却管;该凹槽用于设置在该反射镜体的上侧边且开口朝...
汤善治赵屹东欧自娜高立丹盛伟繁李明
基于激光外差干涉的数控机床几何精度测量理论与方法研究
基于激光外差干涉的数控机床几何精度测量理论与方法研究
汤善治
一种双衍射光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法
本发明公开了一种双衍射光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法,该测量装置包括:激光源、双衍射光栅单元、干涉单元和回射单元,干涉单元将激光束分为第一偏振光和第二偏振光;第一偏振光沿第一光路入射至第一光栅,经第一光栅衍射沿第二光...
汤善治李明盛伟繁
文献传递
基于双频激光干涉的二维测量装置
基于双频激光干涉的二维测量装置,包括反射率为50%的分光镜、x向测量模块、y向测量模块,x向平面反射镜和y向平面反射镜。激光束通过50%分光镜分成两束,对x、y两个方向的位移进行测量。每束光会通过偏振分光棱镜分为P光和S...
王昭汤善治高建民蒋志雄郭俊杰
文献传递
皮米级分辨率测量及细分技术进程被引量:2
2010年
综述了国内、外皮米分辨率测量的研究进展.介绍了高分辨率(皮米级)的测量方法和当前的发展,并对其原理及细分技术作了分析.针对典型测量方法的局限,阐述了另两种新颖的测量方法,并较深入地分析其优势及不足.着重分析了多次反射式光学干涉仪的测量方法,相对于X射线干涉仪,它具有更高的分辨率且其装置较简单,易于实现,在光谱学、高准确度测量等领域的应用前景较好.
汤善治王昭蒋志雄郭俊杰
关键词:光学测量激光干涉仪
共3页<123>
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