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汤善治
作品数:
29
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H指数:3
供职机构:
中国科学院高能物理研究所
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国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
电子电信
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合作作者
李明
中国科学院高能物理研究所
盛伟繁
中国科学院高能物理研究所
王昭
西安交通大学机械工程学院
梁好
中国科学院高能物理研究所
高建民
西安交通大学机械工程学院机械制...
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组合式反射镜光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法
本发明公开一种组合式反射镜光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法,属于激光精密测量技术领域。该装置包括:激光源,用于提供激光束和参考信号,其中激光束包含频率不同且线偏振方向正交的第一偏振分量和第二偏振分量,参考信号的频率对应...
汤善治
李明
韩庆夫
张伟伟
盛伟繁
文献传递
一种高分辨率光栅外差干涉滚转角测量方法及装置
本发明公开了一种高分辨率光栅外差干涉滚转角测量方法及装置。本装置包括设置在双频激光源出射光路的非偏振分光组合棱镜,其透射光路上设置第一偏振分光棱镜,反射光路上依次设置第一直角棱镜、第二直角棱镜、第二偏振分光棱镜;第一偏振...
汤善治
张霄猛
于海涵
何天
杨嘉乐
基于KB镜纳米实验系统的高精度定位测量方法及装置
本发明公开了一种基于KB镜纳米实验系统的高精度定位测量方法及装置。本装置包括两独立的腔体和至少一套稳定性测量系统,稳定性测量系统包括一激光源、一稳定性测量组件、一目标光栅、一反射单元和信号处理单元;其中一腔体内设置纳米K...
于海涵
汤善治
何天
廖瑞颖
欧自娜
周亮
李明
一种基于阵列式多次反射的滚转角测量装置及方法
本发明公开了一种基于阵列式多次反射的滚转角测量装置及方法,该装置包括双频激光器、1/2波片和两套角锥棱镜阵列;在双频激光器的光轴后设置分光棱镜,分光棱镜的反射光轴上设第一检偏器和第一光电接收器;分光棱镜的透射光轴上设1/...
王昭
汤善治
高建民
钟丽红
郭俊杰
一种直驱式大行程精密转动平台
本发明涉及一种直驱式大行程精密转动平台,包括:基座;柔性铰链轴承,包括柔性铰链、驱动端、定子和动子,所述定子固定于基座上,所述驱动端连接于柔性铰链并伸出柔性铰链外;载物架,与所述动子固定连接,用于连接所述柔性铰链轴承和末...
张路
梁好
杨扬
徐伟
汤善治
盛伟繁
李明
一种用于同步辐射束线上的垂直反射白光镜冷却结构
本实用新型公开了一种用于同步辐射束线上的垂直反射白光镜冷却结构,其特征在于,包括光学元件硅晶体(1)、第一冷却结构(2)、第二冷却结构(3);将光学元件硅晶体(1)的上表面作为镜面,光学元件硅晶体(1)的上表面设有第一铟...
高立丹
李明
杨福桂
汤善治
盛伟繁
文献传递
一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法
本发明公开了一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法。本发明的冷却结构包括用于设置于反射镜体上下侧边的上‑冷却结构和下‑冷却结构;其中,上‑冷却结构包括凹槽、凸板冷却管;该凹槽用于设置在该反射镜体的上侧边且开口朝...
汤善治
赵屹东
欧自娜
高立丹
盛伟繁
李明
基于激光外差干涉的数控机床几何精度测量理论与方法研究
基于激光外差干涉的数控机床几何精度测量理论与方法研究
汤善治
一种双衍射光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法
本发明公开了一种双衍射光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法,该测量装置包括:激光源、双衍射光栅单元、干涉单元和回射单元,干涉单元将激光束分为第一偏振光和第二偏振光;第一偏振光沿第一光路入射至第一光栅,经第一光栅衍射沿第二光...
汤善治
李明
盛伟繁
文献传递
基于双频激光干涉的二维测量装置
基于双频激光干涉的二维测量装置,包括反射率为50%的分光镜、x向测量模块、y向测量模块,x向平面反射镜和y向平面反射镜。激光束通过50%分光镜分成两束,对x、y两个方向的位移进行测量。每束光会通过偏振分光棱镜分为P光和S...
王昭
汤善治
高建民
蒋志雄
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