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杨美娟
作品数:
18
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供职机构:
华南理工大学
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发文基金:
广东省重大科技专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李国强
华南理工大学
王文樑
华南理工大学
林云昊
华南理工大学
李媛
华南理工大学
张云鹏
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2016
4篇
2015
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生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN量子阱及其制备方法
本发明公开了生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN多量子阱,包括依次生长在铝酸镁钪衬底上的第一GaN缓冲层、非晶态AlN插入层、第二GaN缓冲层、InGaN/GaN量子阱。本发明还公开了上述生长在铝酸镁钪衬底上的InG...
李国强
王文樑
杨美娟
林云昊
文献传递
生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED及其制备方法
本发明属于纳米柱LED制备的技术领域,公开了生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED及其制备方法。所述生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED包括铝酸锶钽镧衬底,生长在铝酸锶钽镧衬底上的AlN成核层,生长在AlN成核层上的GaN...
李国强
王文樑
杨美娟
生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN纳米柱多量子阱及其制备方法
本发明属于纳米阵列的多量子阱的技术领域,公开了生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN纳米柱多量子阱及其制备方法。生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN纳米柱多量子阱,包括生长在La<Sub>0.3</Sub>Sr...
李国强
杨美娟
林云昊
李媛
生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED
本实用新型属于纳米柱LED制备的技术领域,公开了生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED。所述生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED包括铝酸锶钽镧衬底,生长在铝酸锶钽镧衬底上的AlN成核层,生长在AlN成核层上的GaN纳米柱模...
李国强
王文樑
杨美娟
文献传递
Si衬底上高质量AlN外延薄膜的MOCVD生长研究
第三代半导体材料是我国十三五规划的重要组成部分,作为第三代半导体材料的AlN是一种性能优异的Ⅲ-V族氮化物材料,具有宽的禁带宽度、高的表面声波速度以及高的热导率,成为紫外与深紫外光电子器件、表面声波器件、集成电路绝缘层等...
杨美娟
关键词:
SI衬底
晶体质量
表面形貌
文献传递
生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN纳米柱多量子阱
本实用新型属于纳米阵列的多量子阱的技术领域,公开了生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN纳米柱多量子阱。生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN纳米柱多量子阱,包括生长在La<Sub>0.3</Sub>Sr<Sub...
李国强
杨美娟
林云昊
李媛
文献传递
一种LED图形优化封装基板、LED封装体
本实用新型公开了一种LED图形优化封装基板,所述封装基板上设有倒圆锥凹槽图案,所述倒圆锥凹槽的底面半径为0.3~1mm,倒圆锥凹槽倾角为45°~75°,相邻倒圆锥凹槽的中心间距为0.5~1mm;所述封装基板的水平表面及倒...
李国强
杨美娟
凌嘉辉
张云鹏
生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN量子阱及其制备方法
本发明公开了生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN多量子阱,包括依次生长在铝酸镁钪衬底上的第一GaN缓冲层、非晶态AlN插入层、第二GaN缓冲层、InGaN/GaN量子阱。本发明还公开了上述生长在铝酸镁钪衬底上的InG...
李国强
王文樑
杨美娟
林云昊
文献传递
生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED及其制备方法
本发明属于纳米柱LED制备的技术领域,公开了生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED及其制备方法。所述生长在铝酸锶钽镧衬底上的纳米柱LED包括铝酸锶钽镧衬底,生长在铝酸锶钽镧衬底上的AlN成核层,生长在AlN成核层上的GaN...
李国强
王文樑
杨美娟
文献传递
H_2气氛对采用MOCVD法在Si衬底上外延生长AlN薄膜性能的影响
2016年
采用金属有机化合物气相沉积法(MOCVD)在Si(111)衬底上外延生长AlN薄膜,用高分辨X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜对外延生长所得AlN薄膜的性能进行表征,并研究了适量H_2的引入对AlN薄膜的晶体结构和表面形貌的影响.结果表明:在Si衬底上外延生长AlN薄膜过程中引入适量H_2,有利于提高AlN岛间愈合程度,薄膜表面缺陷减少,表面粗糙度由4.0nm减少至2.1nm;适量H_2的引入可使AlN薄膜的(0002)和(10-12)面的X射线摇摆曲线的半峰宽(FWHM)值从0.7"及1.1"分别减小到0.6"和0.9",即刃型穿透位错密度和螺型穿透位错密度减少.
杨美娟
林云昊
王文樑
林志霆
李国强
关键词:
SI衬底
ALN薄膜
H2
MOCVD
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