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涂覆DLC薄膜的微球轴承接触特性研究被引量：1: 2015年; 对涂覆DLC薄膜的MEMS球轴承的接触性能进行理论研究。根据微球轴承的接触型式,建立微球与表面涂覆DLC薄膜的滚道之间的有限元模型,考察不同DLC薄膜弹性模量和厚度,以及不同微球材料和直径对微球轴承接触特性的影响。结果表明,高弹性模量的厚DLC薄膜可以降低微球轴承滚道表面的最大径向拉应力和界面剪切应力,但却提高了最大接触压力;轴承内的轴向最大von Mises等效应力和界面应力梯度可通过减小DLC薄膜的弹性模量或增加薄膜厚度来降低;直径较大的440C不锈钢微球可以改善涂覆DLC薄膜的微球轴承的接触性能。; 王犇王晓力王振波; 关键词：MEMS DLC薄膜

硅微球轴承接触问题的有限元分析: 2015年; 利用有限元分析软件Abaqus建立了硅微球轴承的有限元模型,采用有限单元法(FEM)对微球与硅滚道的接触问题进行数值求解。考察了微球的不同尺寸和材料对硅微球轴承滚道接触应力的影响。结果表明:随着微球尺寸的增大,滚道表面最大接触压力和滚道内最大Mises应力均减小;随着微球公转速度的增大,微球材料密度对滚道侧壁表面接触压力和侧壁内Mises应力有显著的影响。该研究将为MEMS旋转机械中硅微球轴承的设计提供理论依据。; 王振波王晓力王犇; 关键词：有限元 MEMS

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王振波