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杨明伟
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京理工大学机电学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
田丽
北京理工大学机电学院
李建丽
北京理工大学机电学院
辛倩倩
北京理工大学机电学院
朱炜
北京理工大学机电学院
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杨明伟
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1篇
2014
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自混合干涉效应在位移测量中的应用现状
被引量:3
2014年
本文对自混合干涉系统在位移测量中的应用情况进行了综述。首先对自混合干涉的发展概况进行介绍,然后重点介绍基于自混合干涉理论的位移测量方法。文中介绍的方法有条纹计数法、电流调制光频法、正弦相位调制法。条纹计数法最易于实现,但是分辨率低,一般为半个光波长。电流调制光频法提高了测量的精度,分辨率可以达到nm量级。正弦相位调制法利用外腔光路中的电光晶体对激光器功率相位进行调制,利用傅里叶变换解调出相位,具有很高的测量精度,可用于微位移的测量。
辛倩倩
李建丽
田丽
朱炜
杨明伟
关键词:
自混合干涉
光反馈
相位调制
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