马立俊
- 作品数：21 被引量：7H指数：2
- 供职机构：山东科技大学更多>>
- 发文基金：'泰山学者'建设工程专项更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程金属学及工艺更多>>
- 热压印聚合物成型体脱模过程中接触脱离分析被引量：2
- 2015年
- 热压印光刻技术中,聚合物成型体在脱模阶段的变形破损关系到压印质量的高低。为了提高热压印质量,研究脱模过程中模板和聚合物成型体之间的接触力变化至关重要。采用理论分析、模型试验和有限元法数值模拟分析热压印脱模中的接触脱离过程,得到不同脱模位移的等效应力云图和脱模接触力变化曲线。结果显示:脱模过程中聚合物微结构的根部和顶部边缘有应力集中和变形现象,通过计算聚合物根部节点和顶部节点的接触力大小,得出接触力峰值是聚合物出现应力集中和变形的原因。实际脱模操作时应加强对聚合物成型体根部和顶部边缘的保护,通过增涂低表面能的抗粘剂降低模板和聚合物成型体间的脱模接触力,达到减少压印缺陷、提高压印质量的目的。
- 王清张睿张金涛郑旭马立俊
- 关键词：热压印脱模应力有限元法
- 一种腔式结构的纳米压印模板及其压印成型方法
- 本发明公开了一种腔式结构的纳米压印模板及其压印成型方法，其腔式结构的纳米压印模板为一体式结构，包括焊接在一起的上模板和下模板两部分；其中，上模板均匀设置有若干数量通透阶梯孔，下模板上均匀设置有若干数量沟槽，沟槽的两端分别...
- 王清张金涛张睿郑旭马立俊张星远杜文全
- 文献传递
- 一种基于反转压印纳米成型技术的力响应性光子晶体材料的制备方法
- 本发明公开了一种基于反转压印纳米成型技术的力响应性光子晶体材料的制备方法，其采用电子束光刻技术和反应离子刻蚀技术，按预先设计的光子晶体结构参数，刻蚀出具有纳米量级图案的刚性模板作为母模板，以制备出具有逆纳米量级图案的弹性...
- 王清张睿郑旭马立俊张艳菊张星远杜文全
- 文献传递
- 一种基于纳米成型技术的力响应性光子晶体材料的制备方法
- 本发明公开了一种基于纳米成型技术的力响应性光子晶体材料的制备方法，其按预先设计的光子晶体结构参数，刻蚀出母模板，以制备出具有逆纳米量级图案的弹性聚合物软模板，并将软模板作为二次模板，通过三步图案转移的方式，将母模板上的图...
- 王清张睿郑旭马立俊张艳菊张星远杜文全
- 文献传递
- 热压印脱模工艺中摩擦系数影响的研究被引量：1
- 2016年
- 压印胶层纳米结构在热压印脱模工艺中的变形关系到纳米器件质量的高低。为了提高纳米器件的质量,研究脱模过程中模板和压印胶之间的接触特性至关重要。采用模型优化、数值模拟和理论分析相结合的方法研究摩擦系数对胶层纳米结构受力和变形的影响,得到摩擦系数增大时von-Mises应力云图和胶层纳米结构顶端变形曲线。分析应力云图可得胶层纳米结构的最大应力和变形在脱模初期随摩擦系数增大而增大,在脱模后期随摩擦系数增大而减小,并从压印胶受力角度对胶层纳米结构顶端变形进行解释。对比顶端变形曲线可得Ni-PTFE模板最佳摩擦系数为0.20,Ni-PTFE模板最优化PTFE含量为15g/L。通过最佳接触特性对模板进行优化可以减少胶层纳米结构变形,提高纳米器件质量。
- 张睿王清郑旭张金涛马立俊张艳菊张星远刘华伟
- 关键词：热压印脱模数值模拟
- 纳米压印技术脱模过程机理分析被引量：1
- 2016年
- 为了减少脱模导致的产品缺陷,对纳米压印技术中的脱模机理进行研究。基于界面力学的接触理论提出了模板和聚合物之间作用力的理论模型,利用ANSYS软件模拟模板和聚合物的接触分离过程。采用断裂力学能量平衡理论,通过脱模力和脱模位移之间的关系分析脱模规律和机理。研究结果表明,脱模过程中不同位置接触面上的作用力存在较大差异;高宽比为2和1.5时,脱模力曲线有两个峰值,高宽比为1和0.5时,脱模力曲线有一个峰值;残余层厚度增加,与同一脱模力相对应的脱模位移会相应增大,但不影响最大脱模力的数值。
- 马立俊王清张睿张金涛郑旭
- 关键词：黏结力脱模力
- 一种纳米压印技术过程中的脱模方法
- <b /><b />本发明公开了一种纳米压印技术过程中的脱模方法，先将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；然后将模板压入压印胶层；待压印胶层固化定型后，在模板上部利用超声波发射装置向模板发射...
- 王清马立俊刘华伟张睿张金涛郑旭
- 文献传递
- 一种制备孔洞混凝土试件的模具
- 本实用新型公开了一种制备孔洞混凝土试件的模具，该模具主要包括把手、光滑棒、筒壁、底板、填块、搭接块。目前专家学者在研究岩体缺陷对于岩体的破坏影响时，所选用的相似材料试件大多是在通过传统模具制备好的试件上进行钻孔，工序复杂...
- 马立俊李伟
- 文献传递
- 热压印成型体缺陷与模板结构耐久性研究
- 纳米压印技术是常用的一种微纳米结构制造技术，因其具有低成本、高分辨率、操作简单等优点而被看作是最具有工业化应用前景的微纳米结构制造方法之一。随着纳米压印技术应用领域的不断扩展，对纳米压印技术的基础性研究提出了更大的挑战。...
- 马立俊
- 关键词：热压印
- 文献传递
- 一种聚合物基板与金属涂层之间粘结力的测量方法
- 本发明公开了一种聚合物基板与金属涂层之间粘结力的测量方法，其在现有技术的基础上，通过采用带中心通孔的掩模板，将其水平放置在聚合物基板上，并在掩模板的上表面均匀涂抹上一层强力粘结胶；然后再沉积上金属涂层，并利用掩膜板厚度大...
- 王清郑旭张睿马立俊张星远杜文权
