刘高彬
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：重庆大学更多>>
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- 超薄铝膜的制备与透光率的研究
- 当铝(Al)膜的厚度在100nm时,可以作为一种光学薄膜使用.用这种超薄铝膜制成光学元件具有耐激光以及损耗小等特点,在大功率激光系统中将得到应用.利用高纯铝靶,运用直流磁控溅射法制备了超薄铝膜,利用双光束分光光度计研究了...
- 付光宗杨丰帆廖克俊刘高彬杨小红
- 关键词：透射率光学性质直流磁控溅射
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- 超薄铝膜的制备与透光率的研究
- 当铝(Al)膜的厚度在100nm时,可以作为一种光学薄膜使用。用这种超薄铝膜制成光学元件具有耐激光以及损耗小等特点,在大功率激光系统中将得到应用。利用高纯铝靶,运用直流磁控溅射法制备了超薄铝膜,利用双光束分光光度计研究了...
- 付光宗杨丰帆杨小红廖克俊刘高彬
- 关键词：透射率光学性质直流磁控溅射
- 文献传递
- 超薄铝膜的制备与透光率的研究被引量：1
- 2005年
- 当铝(Al)膜的厚度在100nm时,可以作为一种光学薄膜使用.用这种超薄铝膜制成光学元件具有耐激光以及损耗小等特点,在大功率激光系统中将得到应用.利用高纯铝靶,运用直流磁控溅射法制备了超薄铝膜,利用双光束分光光度计研究了其光学性质,测试了超薄铝膜的制备条件,如工作压强、靶基距、溅射时间等对薄膜的光学性质的影响.得到了工作压强、靶基距及溅射功率与薄膜的光学性质之间的关系.
- 付光宗杨丰帆杨小红廖克俊廖克俊
- 关键词：透射率光学性质直流磁控溅射
