王丽玲
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京航空航天大学理学院更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院双百人才基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电气工程更多>>
- 六硼化镧薄膜的制备及其物理特性表征
- 采用LaB6陶瓷靶,在氩气气氛下利用直流磁控溅射制备玻璃基底的LaB6薄膜.利用X射线衍射、台阶仪、四探针电阻测试仪和红外发射率测量仪等测试手段对样品进行表征,研究基底温度、溅射功率对LaB6薄膜的晶体结构、导电性能及表...
- 王丽玲刁训刚舒远杰
- 关键词：磁控溅射导电薄膜红外发射率
- 文献传递
- 低红外发射率TiO_2/Ag_xCu_(1-x)/Ti/TiO_2纳米多层膜被引量：2
- 2007年
- 利用磁控溅射制备了银含量在100%至80%之间的单层银铜合金薄膜和TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米四层膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针,分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征,研究了单层金属膜和多层膜的光学、电学性质随着银含量的变化以及热处理前后薄膜性能的变化。结果表明:相同厚度的合金膜,随着Ag含量的降低,导电性能下降,Ag含量低于80%的合金已不适合作为多层膜的金属层;150℃大气下热处理30min,纯银薄膜性质发生明显变化,明视透过率下降10%,方块电阻由2.5W/□增加至18W/□,红外发射率由0.17增加到0.69。AgCu合金薄膜性质未发生明显变化。方块电阻相近的TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜,经250℃大气下热处理40min后,TiO2/Ag/Ti/TiO2和TiO2/Ag80Cu20/Ti/TiO2纳米多层膜的性质变化较小,热稳定性较好,其余的多层膜性质发生较大变化,红外发射率显著增加。
- 刘海鹰刁训刚王丽玲杨盟武哲舒远杰
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- 采用LaB6陶瓷靶,在氩气气氛下利用直流磁控溅射制备玻璃基底的LaB6 薄膜。利用X射线衍射、台阶仪、四探针电阻测试仪和红外发射率测量仪等测试手段对样品进行表征,研究基底温度、溅射功率对LaB6薄膜的晶体结构、导电性能及...
- 王丽玲刁训刚舒远杰
- 关键词：磁控溅射导电薄膜
- 文献传递
