刘瑞宏
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 基于纳米压印技术的亚波长抗反射结构的工艺研究
- 亚波长结构是指结构的尺寸与作用光波长相当或更小的周期结构。当光波作用于这种结构时表现为仅有零级的反射或透射光存在。亚波长结构的这一性质使其在很多方面有无法替代的应用,如军事上在恶劣环境下光波的增透,用传统的薄膜增透无法达...
- 刘瑞宏
- 关键词：纳米压印有限元分析集成电路工艺
- 文献传递
- 纳米压印过程中的聚合物流变机理被引量：1
- 2012年
- 针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比及非周期结构对光刻胶填充效果的影响.结果表明,相对于非周期模板,周期结构的模板所能引起的图形转移缺陷小;占空比及深宽比对小周期模板比大周期模板的影响大.进行了纳米压印实验,实验结果与仿真结果吻合,说明了仿真的可信,可以作为模板结构设计及表面处理工艺的依据.
- 刘瑞宏李海华王庆康
- 关键词：紫外纳米压印有限元仿真占空比
