张熙
- 作品数：3 被引量：7H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 传感器温度特性自动测试系统
- 1993年
- 利用准静态温度测量方法成功地研制了一套传感器温度特性自动测试系统。升、降温速率可在0.1～1℃/min范围内选择,用计算机对特性量进行快速测量,直接给出性能随温度变化的准连续曲线。本系统可同时对16只元件进行测量,测量精度为0.2‰以上。本文介绍了该系统的硬件结构和测试软件框图,并给出了本系统测量精度的实验结果。
- 王善鹤赵新安张熙谭淞生
- 关键词：温度特性开关传感器测试系统
- 微齿轮加工工艺研究被引量：1
- 1993年
- 微机械加工技术是在IC平面工艺结合牺牲层腐蚀工艺基础上发展和形成的.在八十年代中应用了这种准三维加工技术,出现了尺寸在几十到几百微米的微型传感器.从而,传感器的性能和成品率得到提高,而成本下降.同时,为微电子机械集成奠定了一定的基础.尤其是1988年美国加里弗尼亚大学采用这种工艺成功地制成了直径仅为头发丝粗细的硅静电马达,从此得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.
- 赵新安苏毅张熙谭淞生王渭源
- 关键词：微齿轮微机械加工齿轮
- 静电封接过程与机理研究被引量：6
- 1992年
- 木文主要通过观察加热的硅-玻璃系统在静电场下的电流-时间(I-t)曲线。及其与封接状态的对应关系,用耗尽层和电场力的概念描述了封接的物理过程,讨论了表面状况对封接的影响,建立了表面粗糙程度与封接电压、材料刚度等参数的制约关系式,给出了可靠封接的余件和完成封接的I-t曲线判据.
- 罗鸣赵新安张熙谭淞生王渭源
- 关键词：硅片物理过程
