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陈孔军
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京大学
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发文基金:
国家教育部博士点基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
章蓓
北京大学物理学院技术物理系
王舒民
北京大学物理学院技术物理系
李仪
北京大学
丁晓民
北京大学
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王舒民
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1994
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Er离子在InP、GaAs和Si中的1.54μm特征发光峰
被引量:2
1993年
分别在InP、GaAs和Si中以7×10^(14)和1×10^(15)cm^(-2)的剂量进行Er离子注入,并采用闭管、快速和炉退火等热处理。低温光致发光(PL)、反射式高能电子衍射(RHEED)和卢瑟福背散射(RBS)实验研究表明,上述样品中Er^(3+)离子特征发光的中心波长均出现在1.54μm处,其中InP的发光峰最强,而注入损伤的恢复是影响Er^(3+)发光的重要因素之一。RBS分析进一步证实退火后Er原子在Si中向表面迁移,而在InP中的外扩散较小,并比较了Er在InP和Si晶格中的占位情况。
章蓓
陈孔军
王舒民
虞丽生
郑婉华
徐俊英
徐天冰
朱沛然
盖秀贞
关键词:
光致发光
离子注入
铕离子
稀土族
稀土Er离子注入InP的退火及发光特性
1994年
利用离子注入法,以7×1014/cm2和1×1015/cm2的剂量对InP进行稀土元素Er的掺杂,采用了两种未加淀积膜覆盖的退火方式,在10K下均观测到InP中Er3+1.54μm特征光致发光峰.光致发光(PL)和反射式高能电子衍射给出发光强度和晶格恢复程度与退火条件的依赖关系,结果表明Er3+在InP中的光激活性在很大程度上取决于InP晶格的恢复.
章蓓
陈孔军
王舒民
丁晓民
虞丽生
郑婉华
徐俊英
李仪
关键词:
磷化铟
稀土元素
离子注入
发光
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