高均超
- 作品数：9 被引量：24H指数：3
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺被引量：7
- 2016年
- 介绍和表征了一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)软模板的工艺方法,并实现了非平面微加工工艺的图形转移。首先采用深硅电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备了具有图形的硅片硬母版,然后用PDMS对硅片硬母版进行倒模复制,从而得到具有图形的PDMS软模板。对所制备的PDMS软模板和硅片硬母版结构的形貌、结构尺寸进行观测对比,结果显示PDMS软模板成功复制了硅片上的图形。将α-氰基丙烯酸乙酯旋涂到PDMS软模板上,然后将PDMS软模板上的图形转印到航空发动机叶片表面进行二次复制。在叶片表面得到的图形化结果为MEMS传感器的制作打下了坚实的基础。本实验提出的这种用PDMS转印的软光刻工艺可代替传统的光刻工艺,能够普遍适用于曲表面的三维结构集成制造。
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- 关键词：软光刻纳米压印叶片
- 利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法
- 本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结...
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- MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究被引量：12
- 2017年
- 航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传感器和标准的热电偶进行了一系列的高温测量试验和一系列细致的高温温度表征测量研究。该微制造工艺攻克了两项技术难关:曲表面的光刻技术和高温绝缘层的制作技术。涡轮叶片表面原位集成的微传感器不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40 g的振动和100 g的冲力。研究还表明,在高温测量环境下,高温测量精度和高温环境下的温度场(高温温度的空间分布与升温时间迟豫)密切相关。由于高温环境温度场的差异,可以产生高达10%的测量本征误差。
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- 关键词：传感器高温测量MEMS
- 航空发动机叶片表面热障涂层温度分布的仿真分析被引量：5
- 2017年
- 采用有限元固体热传导仿真模型分析航空发动机导向叶片表面热障涂层(TBC)的温度特性;采用工程实验的通用模型,输入因变量(Input)→仿真模型和边界条件(Process)→输出变量(Output),进行热障涂层的实验设计;比较了几种热涂层材料(如ZrO2系列TBC)的隔热性能,分析了不同的基底与TBC厚度下隔热性能的变化情况.同时,通过计算机仿真方法探讨了国内外相关文献中的TBC隔热效果的差异性.结果表明,温度边界条件对于准确估算TBC的隔热效果至关重要.在对比TBC的隔热性能时,需对测温环境进行标定.
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- 关键词：航空发动机热障涂层有限元法
- 涡轮叶片表面温度传感器原位集成制造及其性能表征
- 伴随着航空发动机智能化快速发展,能否在部件表面原位集成制造耐高温传感器已成为关键技术需求。涡轮合金叶片(简称涡轮叶片)作为航空发动机的核心主承力部件,长时间处于高应力、高温(大于1000℃)、高压气流的恶劣环境中,更是有...
- 高均超
- 关键词：MEMS技术
- 文献传递
- 航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS传感器的研制被引量：2
- 2018年
- 为了满足智能高性能航空发动机高温、高振动、高冲击的苛刻工作要求,采用MEMS(Micro-elect ro-mechanical-syst em,微机电系统)薄膜技术制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并进行了高温下的温度试验和振动冲击试验。试验结果表明:热电阻传感器温度的线性良好,可以实现在高温环境下的温度控制;叶片原位温度传感器及其连线系统可以在规定的苛刻的振动与冲击试验指标下安全、可靠地工作,振动与冲击之后连接特性没有变化。将该原位集成传感器应用在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量800℃的环境温度,而且具有很高的机械强度,可以承受40g的振动和100g的冲力。
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- 关键词：传感器抗振动抗冲击航空发动机
- 喷涂热障涂层包裹Pt金属丝表面制造高温绝缘线的方法
- 本发明提供一种喷涂热障涂层包裹Pt金属丝表面制造高温绝缘线的方法，所述方法是将高温热障绝缘涂层材料利用喷涂方法包裹在Pt金属丝表面，从而形成最高在1200℃高温下保持绝缘特性的高温绝缘线；所述高温热障绝缘涂层材料为钇稳定...
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- 文献传递
- 利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法
- 本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结...
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- 文献传递
- 喷涂热障涂层包裹Pt金属丝表面制造高温绝缘线的方法
- 本发明提供一种喷涂热障涂层包裹Pt金属丝表面制造高温绝缘线的方法，所述方法是将高温热障绝缘涂层材料利用喷涂方法包裹在Pt金属丝表面，从而形成最高在1200℃高温下保持绝缘特性的高温绝缘线；所述高温热障绝缘涂层材料为钇稳定...
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