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芦姗: 作品数：11 被引量：0H指数：0; 供职机构：北京空间飞行器总体设计部更多>>; 相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

贺涛北京空间飞行器总体设计部
徐明明北京空间飞行器总体设计部
张涛北京空间飞行器总体设计部
胡海峰北京空间飞行器总体设计部
王颖北京空间飞行器总体设计部

作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域

文献类型

11篇中文专利

领域

3篇一般工业技术
1篇电子电信

主题

6篇电子束曝光
6篇电子束曝光技...
6篇丁酮
5篇整流
5篇天线
5篇纳米天线
5篇金属
4篇整流天线
4篇介质层
4篇金属型
3篇局域
3篇局域场
3篇红移
2篇掩膜
2篇一步法
2篇制备金属
2篇热氧化
2篇左臂
2篇微电子
2篇固体电子学

机构

11篇北京空间飞行...

作者

11篇周傲松
11篇高文军
11篇王颖
11篇芦姗
11篇胡海峰
11篇张涛
11篇徐明明
11篇贺涛
3篇王凯
1篇郭令举

年份

1篇2018
4篇2017
6篇2015

共 11 条记录，以下是 1-10

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排序方式：

一种基于氧等离子体工艺的纳米介质层制备方法: 本发明介绍了一种基于氧等离子体工艺的纳米介质层的制备方法；利用电子束曝光技术，在基底金属层薄膜上打开一个正方形掩膜窗口。利用氧等离子体氧化方法对掩膜窗口处暴露的基底金属层薄膜进行氧化，具体工艺条件为：利用氧等离子体，在0...; 贺涛胡海峰芦姗韩运忠周傲松张涛王颖高文军徐明明

一种基于氧等离子体工艺的纳米介质层制备方法: 本发明介绍了一种基于氧等离子体工艺的纳米介质层的制备方法；利用电子束曝光技术，在基底金属层薄膜上打开一个正方形掩膜窗口。利用氧等离子体氧化方法对掩膜窗口处暴露的基底金属层薄膜进行氧化，具体工艺条件为：利用氧等离子体，在0...; 贺涛胡海峰芦姗韩运忠周傲松张涛王颖高文军徐明明; 文献传递

一种基于热氧化工艺的纳米介质层制备方法: 本发明一种基于热氧化工艺的纳米介质层制备方法,属于微电子与固体电子学、纳米科学技术领域。利用电子束曝光技术，在基底金属层上打开一个正方形掩膜窗口。利用热氧化方法对掩膜窗口处暴露的基底金属层进行氧化，具体工艺条件为：置于烘...; 贺涛芦姗胡海峰韩运忠周傲松张涛王颖高文军徐明明; 文献传递

一种基于热氧化工艺的纳米介质层制备方法: 本发明一种基于热氧化工艺的纳米介质层制备方法,属于微电子与固体电子学、纳米科学技术领域。利用电子束曝光技术，在基底金属层上打开一个正方形掩膜窗口。利用热氧化方法对掩膜窗口处暴露的基底金属层进行氧化，具体工艺条件为：置于烘...; 贺涛芦姗胡海峰韩运忠周傲松张涛王颖高文军徐明明

一种基于磁控溅射工艺的纳米介质层制备方法: 一种基于磁控溅射工艺的纳米介质层制备方法，在衬底上旋涂正胶，利用电子束曝光技术，制作一个正方形掩膜窗口。利用磁控溅射镀膜技术在掩膜窗口内，在额定的背底真空条件下，以80～150watt的功率，0～5sccm的氧气流量，3...; 张涛韩运忠周傲松王颖徐明明高文军贺涛胡海峰芦姗; 文献传递

一种基于隧穿二极管的纳米天线: 本发明一种基于隧穿二极管的纳米天线，包括左臂、右臂以及整流器；所述左臂与右臂为镜像结构；左臂与右臂交叉成蝴蝶结形状，左臂与右臂中间夹有整流器，且三者一体成型；所述左臂与右臂的辐射体形状为三角形或扇形或锥形；所述整流器为金...; 张涛韩运忠周傲松王颖徐明明高文军贺涛王凯胡海峰芦姗; 文献传递

一种基于硅基衬底的纳米整流天线: 本发明一种基于硅基衬底的纳米整流天线。所述的整流天线为纳米天线与金属-绝缘体-金属二极管组成的一体化结构，天线的左右臂分别为金属I和金属II，中间为绝缘层。将设计的纳米整流天线分别置于不同的衬底上，通过采用三维电磁场数值...; 张涛韩运忠周傲松王颖徐明明高文军贺涛胡海峰芦姗

一种用于红外能量转换的纳米天线: 本实用新型一种用于红外能量转换的纳米天线包括左臂、右臂以及整流器；所述左臂与右臂为镜像结构；左臂与右臂交叉成蝴蝶结形状，左臂与右臂中间夹有整流器，且三者一体成型；所述左臂与右臂的辐射体形状为三角形或扇形或锥形；所述整流器...; 贺涛王凯胡海峰芦姗郭令举韩运忠周傲松张涛王颖徐明明高文军; 文献传递

一种基于隧穿二极管的纳米天线: 本发明一种基于隧穿二极管的纳米天线，包括左臂、右臂以及整流器；所述左臂与右臂为镜像结构；左臂与右臂交叉成蝴蝶结形状，左臂与右臂中间夹有整流器，且三者一体成型；所述左臂与右臂的辐射体形状为三角形或扇形或锥形；所述整流器为金...; 张涛韩运忠周傲松王颖徐明明高文军贺涛王凯胡海峰芦姗; 文献传递

一种基于硅基衬底的纳米整流天线: 本发明一种基于硅基衬底的纳米整流天线。所述的整流天线为纳米天线与金属‑绝缘体‑金属二极管组成的一体化结构，天线的左右臂分别为金属I和金属II，中间为绝缘层。将设计的纳米整流天线分别置于不同的衬底上，通过采用三维电磁场数值...; 张涛韩运忠周傲松王颖徐明明高文军贺涛胡海峰芦姗; 文献传递

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