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宋秀敏

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西北工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电磁
  • 2篇微光机电系统
  • 2篇静电
  • 2篇静电驱动
  • 2篇光机
  • 2篇光机电
  • 1篇扫描镜
  • 1篇洛仑兹
  • 1篇洛仑兹力
  • 1篇镜面
  • 1篇隔离沟槽

机构

  • 2篇西北工业大学

作者

  • 2篇苑伟政
  • 2篇乔大勇
  • 2篇虞益挺
  • 2篇王军平
  • 2篇郭向楠
  • 2篇宋秀敏
  • 2篇孟庆超

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
电磁—静电混合驱动二维微扫描镜及制作方法
本发明公开了一种电磁—静电混合驱动二维微扫描镜及制作方法，属于微光机电系统(MOEMS)器件领域。该器件主要由中心镜面1、支撑镜面外框架2、静电驱动组件3、电磁驱动组件4组成。其中，中心镜面采用基于洛仑兹力的电磁驱动，支...
苑伟政王军平虞益挺乔大勇孟庆超宋秀敏郭向楠
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电磁—静电混合驱动二维微扫描镜及制作方法
本发明公开了一种电磁—静电混合驱动二维微扫描镜及制作方法，属于微光机电系统(MOEMS)器件领域。该器件主要由中心镜面1、支撑镜面外框架2、静电驱动组件3、电磁驱动组件4组成。其中，中心镜面采用基于洛仑兹力的电磁驱动，支...
苑伟政王军平虞益挺乔大勇孟庆超宋秀敏郭向楠
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