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韩瑞峰

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇纳米
  • 3篇纳米线
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇掩膜
  • 2篇掩膜版
  • 2篇纳米催化剂
  • 2篇硅锗
  • 2篇硅
  • 2篇催化
  • 2篇催化剂
  • 1篇第一性原理
  • 1篇淀积
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻特性
  • 1篇杨氏模量
  • 1篇异质结
  • 1篇梁结构

机构

  • 4篇东南大学

作者

  • 4篇韩瑞峰
  • 3篇雷双瑛

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2015
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种硅悬臂梁结构及其制备方法
本发明公开了一种硅悬臂梁结构，包括带悬臂梁的硅片基底，在所述悬臂梁上刻蚀有凹槽，所述凹槽两个侧壁上分别设有多个圆孔结构，且两个侧壁上的圆孔结构呈一一对称设置，每个所述圆孔结构上淀积有锡纳米催化剂层，且每对呈一一对称设置的...
雷双瑛韩瑞峰
文献传递
一种硅悬臂梁结构及其制备方法
本发明公开了一种硅悬臂梁结构，包括带悬臂梁的硅片基底，在所述悬臂梁上刻蚀有凹槽，所述凹槽两个侧壁上分别设有多个圆孔结构，且两个侧壁上的圆孔结构呈一一对称设置，每个所述圆孔结构上淀积有锡纳米催化剂层，且每对呈一一对称设置的...
雷双瑛韩瑞峰
文献传递
一种压力传感结构及其制备方法
本发明公开了一种压力传感结构，包括硅片基底和多晶硅梁结构，所述多晶硅梁结构呈n型架设在所述硅片基底上，所述多晶硅梁结构上表面并列设有两个压力感应结构，所述压力感应结构包括两个相对设置的氮化硅层和位于两个氮化硅层之间的多根...
雷双瑛韩瑞峰
文献传递
新型硅、锗及硅锗异质结纳米线应变效应的第一性原理研究及应用设计
纳米尺寸的硅锗材料结构，其力学性质、电学性质和力电耦合性质均受到应变效应、界面效应、组分效应、量子限制效应等微观效应的影响。这些微观效应的影响让诸如纳米线、纳米管和纳米膜之类的硅锗纳米材料表现出了优秀的机电特性。本文立足...
韩瑞峰
关键词：第一性原理杨氏模量
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